中国科学院长春光学精密机械与物理研究所牛文达获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利晶圆测试升降机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120463127B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510972609.3，技术领域涉及：B66F7/14；该发明授权晶圆测试升降机构是由牛文达;刘震宇;郭同健;王从敬;刘瑞起;王冲;王强龙;闫佳钰;王一鹤;王晓明;高庆嘉;王丹丹设计研发完成，并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆测试升降机构在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种晶圆测试升降机构，包括：承载板；中心驱动装置，中心驱动装置位于承载板远离承载面的一侧，且中心驱动装置的中心与承载板的中心正对，中心驱动装置的自由端与承载板相连接，且中心驱动装置的自由端可带动承载板沿z轴方向进行升降运动；在中心驱动装置四周间隔排布的四个支撑驱动装置，四个支撑驱动装置位于承载板远离承载面的一侧，且四个支撑驱动装置与承载板的四个角一一对应，支撑驱动装置的自由端与承载板非连接接触，且支撑驱动装置的自由端与中心驱动装置的自由端沿z轴方向同步升降。本发明至少可以满足大负载以及偏载工况下的晶圆测试需求。
本发明授权晶圆测试升降机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试升降机构，其特征在于，所述晶圆测试升降机构通过底板与外部机构连接，所述晶圆测试升降机构包括： 承载板，所述承载板具有承载晶圆的承载面； 中心驱动装置，所述中心驱动装置位于所述承载板远离所述承载面的一侧，且所述中心驱动装置的中心与所述承载板的中心正对，所述中心驱动装置的自由端与所述承载板相连接，所述中心驱动装置的自由端可带动所述承载板沿z轴方向进行升降运动； 在所述中心驱动装置四周间隔排布的四个支撑驱动装置，所述四个支撑驱动装置位于所述承载板远离所述承载面的一侧，且所述四个支撑驱动装置与所述承载板的四个角一一对应，所述支撑驱动装置的自由端与所述承载板非连接接触，且所述支撑驱动装置的自由端与所述中心驱动装置的自由端沿z轴方向同步升降。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其通讯地址为：130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号