华侨大学邓朝晖获国家专利权
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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120470947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510968678.7，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置是由邓朝晖;宋子豪;杨晓;卓荣锦;葛旭东设计研发完成，并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置在说明书摘要公布了：本申请提供的一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置，方法包括：对所获取的历史工艺试验数据进行拟合，构建经验材料去除率预测模型；响应于修正请求，采集研磨过程动态数据；利用训练好的XGBoost动态修正模型，基于研磨过程动态数据对应的待测特征参数进行预测，得到动态修正量；基于动态修正量，更新经验材料去除率预测模型中的经验系数，得到修正后的所述经验材料去除率预测模型；通过修正后的经验材料去除率预测模型，计算研磨过程动态数据对应的去除率预测值。本发明通过XGBoost模型预测动态修正量更新经验系数，实现去除率预测值预测，提升研磨工艺的预测精度和过程控制水平。
本发明授权一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法，其特征在于，包括： 对所获取的历史工艺试验数据进行拟合，构建经验材料去除率预测模型； 响应于修正请求，采集研磨过程动态数据； 基于所述历史工艺试验数据及其历史去除率，构建研磨阶段与敏感特征集间的匹配关系；基于所述研磨阶段与敏感特征集间的匹配关系，确定所述研磨过程动态数据在其待测研磨阶段的待测敏感特征集；将所述研磨过程动态数据中，所述待测敏感特征集对应的待测特征参数输入训练好的XGBoost动态修正模型，得到动态修正量； 基于所述动态修正量，更新所述经验材料去除率预测模型中的经验系数，得到修正后的所述经验材料去除率预测模型； 通过修正后的所述经验材料去除率预测模型，计算所述研磨过程动态数据对应的去除率预测值。
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