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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种双层磁流体密封装置及气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120464991B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510956107.1，技术领域涉及：C23C16/54；该发明授权一种双层磁流体密封装置及气相沉积设备是由邢培帅;彭冬梅;郭晓东;侯少毅;何斌;黎天韵设计研发完成，并于2025-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双层磁流体密封装置及气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明涉及气相沉积设备技术领域，特别是一种双层磁流体密封装置及气相沉积设备。双层磁流体密封装置包括真空腔体、反应托盘、旋转轴组件、加热组件、旋转组件、第一密封装置和第二密封装置，旋转轴组件包括内轴体、外壳体和轴承，外壳体与真空腔体固接，内轴体通过轴承可旋转地安装于外壳体内，内轴体的顶部与反应托盘固接，加热组件设置在内轴体内，第一密封装置设置在内轴体和外壳体之间；第二密封装置设置在内轴体和外壳体之间。通过将电极内置至旋转轴组件内，采用双层磁流体密封装置分别隔离真空环境、外部环境及电极保护气体环境，解决了电极裸露氧化问题，同时实现多重气体环境的独立密封。

本发明授权一种双层磁流体密封装置及气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种双层磁流体密封装置，其特征在于，包括： 真空腔体（100），所述真空腔体（100）内设有第一空间； 反应托盘（200），所述反应托盘（200）设置在所述第一空间内，用于放置工件； 旋转轴组件，所述旋转轴组件伸入所述第一空间内，所述旋转轴组件包括内轴体（310）、外壳体（320）和轴承（330），所述外壳体（320）与所述真空腔体（100）固接，所述内轴体（310）通过所述轴承（330）可旋转地安装于所述外壳体（320）内，所述内轴体（310）的顶部与所述反应托盘（200）固接，所述内轴体（310）内部设有第二空间； 加热组件（400），所述加热组件（400）设置在所述第二空间内，用于对所述反应托盘（200）进行加热； 旋转组件（600），所述旋转组件（600）与所述内轴体（310）的中部传动连接，所述旋转组件（600）驱动所述内轴体（310）带动所述反应托盘（200）旋转； 第一密封装置（500），所述第一密封装置（500）设置在所述内轴体（310）和外壳体（320）之间，且位于所述旋转组件（600）上方，用于将所述第一空间与空气隔绝； 第二密封装置（700），所述第二密封装置（700）设置在所述内轴体（310）和外壳体（320）之间，且位于所述旋转组件（600）下方，用于将所述第二空间与空气隔绝； 所述第一密封装置（500）包括第一永磁铁（510）、第一极靴（520）和第一磁流液（530），所述第一永磁铁（510）和第一极靴（520）设置在所述外壳体（320）的内壁上，所述第一极靴（520）设置在所述第一永磁铁（510）的两侧，所述内轴体（310）的外壁上设有第一磁液槽（311），所述第一磁流液（530）设置在所述第一磁液槽（311）内，所述第一极靴（520）、第一永磁铁（510）和内轴体（310）构成第一磁性回路，所述第一磁流液（530）在所述第一磁性回路作用下形成用于密封所述第一空间的第一液体O型密封圈。

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