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龙图腾网获悉深圳飞骧科技股份有限公司申请的专利硅基恒温式声表面波滤波器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120433748B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510952353.X，技术领域涉及：H03H9/64；该发明授权硅基恒温式声表面波滤波器及其制备方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅基恒温式声表面波滤波器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及无线通讯技术领域，提供了一种硅基恒温式声表面波滤波器及其制备方法，制备方法包括以下步骤：对硅衬底进行单晶硅离子注入分别形成n型热偶对和p型热偶对；制作介质层；制作热偶对互连层，以使n型热偶对和p型热偶对连接形成通路；在介质层远离硅衬底的表面制作钝化粘附层；在钝化粘附层远离硅衬底的表面制作声学层；对声学层进行开窗形成第一凹槽和第二凹槽，分别暴露n型热偶对和p型热偶对；对第一凹槽和第二凹槽内分别制作第一电气互连层和第二电气互连层，对声学层远离硅衬底的表面制作叉指结构，得到硅基恒温式声表面波滤波器。本发明的硅基恒温式声表面波滤波器能够提高温度稳定性与功率耐受性能。

本发明授权硅基恒温式声表面波滤波器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种硅基恒温式声表面波滤波器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤： 步骤S1、选择硅衬底，并对所述硅衬底进行单晶硅离子注入，分别形成n型热偶对和p型热偶对； 步骤S2、在所述硅衬底的上表面制作介质层，使所述介质层完全覆盖所述硅衬底、所述n型热偶对及所述p型热偶对的上表面； 步骤S3、对所述介质层进行第一次开窗，暴露出所述n型热偶对和所述p型热偶对，在所述第一次开窗位置制作热偶对互连层，以使所述n型热偶对和所述p型热偶对连接形成通路； 步骤S4、在所述介质层远离所述硅衬底的表面制作钝化粘附层，并完全覆盖所述介质层和所述热偶对互连层； 步骤S5、在所述钝化粘附层远离所述硅衬底的表面制作声学层，并完全覆盖所述钝化粘附层； 步骤S6、由所述声学层表面向下进行第二次开窗，形成第一凹槽和第二凹槽，用于分别暴露出所述n型热偶对和所述p型热偶对；其中，所述第一次开窗和所述第二次开窗的位置相异； 步骤S7、在所述第一凹槽和所述第二凹槽内分别制作第一电气互连层和第二电气互连层，使得所述第一电气互连层贴合于所述第一凹槽的内槽壁延伸且与所述n型热偶对电连接，且使得所述第二电气互连层贴合于所述第二凹槽的内槽壁延伸且与所述p型热偶对电连接，并在所述声学层远离所述硅衬底的表面制作叉指结构，得到硅基恒温式声表面波滤波器。

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