湖南旺坤管业有限公司成志坚获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南旺坤管业有限公司申请的专利一种基于耐腐蚀性合金靶材的金属管道溅射涂层方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120443125B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510940406.6,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种基于耐腐蚀性合金靶材的金属管道溅射涂层方法是由成志坚;成志立;盛行设计研发完成,并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于耐腐蚀性合金靶材的金属管道溅射涂层方法在说明书摘要公布了:本发明涉及金属管道表面处理技术领域,公开一种基于耐腐蚀性合金靶材的金属管道溅射涂层方法,包括:向合金靶材施加第一脉冲序列溅射金属原子,向金属管道施加第二脉冲序列,并严格同步两序列使负电压脉冲仅在靶材功率低谷期施加,利用溅射产生的金属离子轰击致密化沉积层。本发明通过时序解耦金属原子沉积与离子轰击步骤,从根本上解决了传统连续偏压导致的再溅射矛盾,实现了镀膜速率与膜层质量的独立调控,同时通过闭环反馈机制确保工艺稳定性,显著提升了涂层性能的一致性和可靠性。
本发明授权一种基于耐腐蚀性合金靶材的金属管道溅射涂层方法在权利要求书中公布了:1.一种基于耐腐蚀性合金靶材的金属管道溅射涂层方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤: 步骤a,提供一个磁控溅射设备,设备中同轴设置有耐腐蚀性合金靶材和待镀金属管道,合金靶材连接第一脉冲电源,金属管道连接第二脉冲电源; 步骤b,设定第一脉冲电源以第一脉冲序列向合金靶材输出高功率脉冲电流,第一脉冲序列具有导通期和关断期; 步骤c,在第一脉冲序列的导通期内,溅射合金靶材产生中性金属原子,中性金属原子沉积在金属管道的表面形成膜层; 步骤d,设定第二脉冲电源以第二脉冲序列向金属管道输出负电压脉冲,第二脉冲序列与第一脉冲序列严格同步且相位相反; 步骤e,在第一脉冲序列的关断期内,施加第二脉冲序列的每一个负电压脉冲至金属管道,负电压脉冲将由步骤c溅射产生的且在关断期内仍存留于空间的金属离子加速轰击到膜层表面。
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