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龙图腾网获悉南通咸昌新材料科技有限公司申请的专利一种用于磷化铟晶片的高压退火装置及退火方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120425464B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510928745.2，技术领域涉及：C30B33/02；该发明授权一种用于磷化铟晶片的高压退火装置及退火方法是由张锋;王怀利;谢月林设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于磷化铟晶片的高压退火装置及退火方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于磷化铟晶片的高压退火装置和退火方法，包括耐高压箱体以及设于耐高压箱体内的加热器和石英管；加热器分为高温端加热器和低温端加热器，石英管一侧为低温端，另一侧为高温端；所述石英管内真空密封有用于盛放红磷的石英舟，以及用于放置磷化铟晶片的晶片样品架；石英舟设于石英管的低温端，晶片样品架设于石英管的高温端；所述晶片样品架为弧形凹装结构，晶片样品架上侧并列设有多个用于竖立放置晶片的样品槽；本方案通过可以实现在较高温度下对晶片进行退火的目的，能够有效避免高温下磷化铟的分解，同时可实现多片磷化铟晶片的批量同步退火，高温下退火能有效降低晶片内应力，提高晶片的电学性能和机械性能，降低碎片率。

本发明授权一种用于磷化铟晶片的高压退火装置及退火方法在权利要求书中公布了：1.一种用于磷化铟晶片的高压退火装置，其特征在于，包括耐高压箱体以及设于耐高压箱体内的加热器和石英管；所述加热器分为高温端加热器和低温端加热器，所述石英管一侧为低温端，另一侧为高温端；所述低温端加热器设于石英管的低温端外侧，高温端加热器设于石英管的高温端外侧；所述石英管内真空密封有用于盛放红磷的石英舟，以及用于放置磷化铟晶片的晶片样品架；所述石英舟设于石英管的低温端，晶片样品架设于石英管的高温端，所述耐高压箱体内壁设有冷却液管道或耐高压箱体内具有用于供冷却液流通的夹层；所述晶片样品架为弧形凹装结构，晶片样品架上侧并列设有多个用于竖立放置晶片的样品槽； 所述样品槽底部为弧形，样品槽底部弧线的曲率小于晶片圆周的曲率；将耐高压箱体的一侧抬高时，竖立放置的晶片沿样品槽滚动并停靠在新的位置，从而起到防止退火过程中晶片出现形变、重心偏移的效果； 所述晶片样品架的样品槽两侧壁上端可拆卸的设有安装条，安装条近样品槽一侧壁上设有多个用于减少晶片侧面与样品槽接触面积的凸台。

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