买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉兴舰科技发展(常州)有限公司申请的专利一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120432427B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510926380.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法是由王舜;王为;叶正光设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法，涉及半导体制造过程中夹紧技术领域，一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法，包括陶瓷外壳及金属基板，所述陶瓷外壳及金属基板之间设置有多组同心设置的同心圆环电极。本发明的陶瓷和金属复合静电卡盘在制作的过程中，使用压装设备将同心圆环电极压装于陶瓷外壳的埋入槽内部，在压装的过程中，通过压装组件、检测组件及传动组件等部件的相互配合，可以直观的判断同心圆环电极压装后是否存在异常，且结合画线异常的位置及异常的形状，可以判断同心圆环电极压装异常的位置及压装异常的原因，后续不需要重复进行检测，提高陶瓷和金属复合静电卡盘制备的效率的同时降低了卡盘制备的设备成本。

本发明授权一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法在权利要求书中公布了：1.一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法，所述陶瓷和金属复合静电卡盘包括陶瓷外壳、金属基板、同心圆环电极、埋入槽及嵌入槽，其特征在于，所述陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法包括以下步骤： S1：陶瓷外壳预处理； S2：同心圆环电极加工处理； S3：使用压装设备对同心圆环电极压装； S4：卡盘组装； S3中所述压装设备包括机架、升降台及承载台，所述升降台与承载台之间设置有圆形罩，所述圆形罩的底部通过多组安装槽分别滑动连接有多组呈环形阵列的状态设置安装块，所述安装块上设置有用于对同心圆环电极压装的压装组件及压装过程中检测的检测组件，所述压装组件与检测组件之间设置有压装检测过程中存在异常时传动的传动组件，所述压装组件、检测组件及传动组件形成一组检测单元； 所述压装组件包括设置于安装块下方的安装座，所述安装座的下端固定有用于与同心圆环电极相抵挤压的压杆，所述安装座与安装块底部之间设置有用于辅助伸缩连接的伸缩组件； 所述检测组件包括安装架，所述安装架的上端滑动连接于安装块的底部，所述安装架的下端通过螺纹的方式可拆卸安装有用于与陶瓷外壳表面相抵标记的标记笔，所述圆形罩上设置有用于对各组安装块间距调节的调节组件，所述圆形罩上设置有用于对驱动盘转动驱动的驱动组件，所述升降台上设置有用于对圆形罩转动的转动组件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人兴舰科技发展(常州)有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市武进区牛塘镇虹西路186号17幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。