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苏州博宏源设备股份有限公司任明元获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州博宏源设备股份有限公司申请的专利一种晶片抛光机抛光磨削液供液系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120395697B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510912517.6,技术领域涉及:B24B57/02;该发明授权一种晶片抛光机抛光磨削液供液系统是由任明元;刘文平;梁春;强彦东设计研发完成,并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶片抛光机抛光磨削液供液系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶片抛光机抛光磨削液供液系统,涉及抛光机供液技术领域,包括:过滤组件,其用于接收来自于所述抛光仓中的抛光磨削液并过滤;脉冲组件,其一端连通至所述抛光仓中,另一端采用供液管与所述过滤组件连通;补液罐,其选择性地为所述过滤组件供液;其中,所述脉冲组件能够接收来自于所述过滤组件中的抛光磨削液并将其以稳压方式送至抛光仓中或以脉冲方式送至抛光仓中,整体工作方式较为灵活。

本发明授权一种晶片抛光机抛光磨削液供液系统在权利要求书中公布了:1.一种晶片抛光机抛光磨削液供液系统,用于向抛光仓(1)供给抛光磨削液,其特征在于,包括: 过滤组件(4),其用于接收来自于所述抛光仓(1)中的抛光磨削液并过滤; 脉冲组件(6),其一端连通至所述抛光仓(1)中,另一端采用供液管(5)与所述过滤组件(4)连通; 补液罐(7),其能够为所述过滤组件(4)供液; 所述脉冲组件(6)能够接收来自于所述过滤组件(4)中的抛光磨削液并将其以稳压方式送至抛光仓(1)中或以脉冲方式送至抛光仓(1)中; 所述脉冲组件(6)包括: 脉冲筒(69),其固定于所述抛光仓(1)的一侧; 出液管(68),其一端用于接收来自于所述过滤组件(4)中的抛光磨削液,另一端密封滑动伸入至所述脉冲筒(69)中,且位于所述脉冲筒(69)中的所述出液管(68)上固定有活塞(610); 所述脉冲筒(69)包括第一筒体(691),其内径适配于所述活塞(610),所述第一筒体(691)被分割为左右两个部分,两个部分之间采用第二筒体(692)相连,所述第二筒体(692)的内径大于所述第一筒体(691)的内径,所述第一筒体(691)的出液端还设置有排液管(693); 所述出液管(68)上还设置有泵体; 所述过滤组件(4)包括: 过滤仓(41),其侧部具有窗口(42); 定位柱(43),其竖向固定于所述过滤仓(41)中; 三个呈竖向阵列分布且固定于所述定位柱(43)上的过滤盘(44); 各个所述过滤盘(44)的外部均滑动套设有限流环(45),所述限流环(45)的内径与所述过滤盘(44)的外径之间呈过渡配合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州博宏源设备股份有限公司,其通讯地址为:215100 江苏省苏州市相城区渭塘镇爱格豪路22号一层东车间;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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