苏州赛腾精密电子股份有限公司孙丰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赛腾精密电子股份有限公司申请的专利一种晶圆分片机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120413488B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510918315.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆分片机构是由孙丰;李振豪设计研发完成，并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆分片机构在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆分片机构，包括：放置组件，包括两个限位轴，限位轴沿第一方向延伸，两个限位轴之间的距离小于晶圆的直径；吸取组件，包括多个吸嘴，多个吸嘴的吸取平面相齐平；吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于竖直方向的放置位置；与吸取组件相连的第一驱动件，用于驱动吸取组件绕第二方向延伸的旋转轴旋转，使吸取平面在吸取位置和放置位置之间切换；与吸取组件相连的第一吹气口和第二吹气口，第一吹气口和第二吹气口在第二方向上分别位于吸取组件的两侧；第一吹气口的形状为圆形，第二吹气口的形状为扁长形；与吸取组件相连的移动组件，用于驱动吸取组件在第一方向和竖直方向上移动。所述晶圆分片机构能实现快速取片。
本发明授权一种晶圆分片机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆分片机构，其特征在于，包括： 放置组件，包括用于放置晶圆的两个限位轴，所述限位轴沿第一方向延伸，两个所述限位轴之间的距离小于所述晶圆的直径； 吸取组件，包括多个吸嘴，多个所述吸嘴的吸取平面相齐平；所述吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于竖直方向的放置位置； 与所述吸取组件相连的第一驱动件，用于驱动所述吸取组件绕第二方向延伸的旋转轴旋转，使所述吸取平面在所述吸取位置和放置位置之间切换；所述第一方向、第二方向和竖直方向两两相互垂直； 与所述吸取组件相连的第一吹气口和第二吹气口，所述第一吹气口和第二吹气口在第二方向上分别位于所述吸取组件的两侧；所述第一吹气口的形状为圆形，所述第二吹气口的形状为扁长形； 与所述吸取组件相连的移动组件，用于驱动所述吸取组件在所述第一方向和竖直方向上移动； 所述第二吹气口包括多个沿直线排列的子吹气口，所述子吹气口的形状为圆形；所述子吹气口的直径小于所述第一吹气口的直径。
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