河北同光半导体股份有限公司崔景光获国家专利权
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龙图腾网获悉河北同光半导体股份有限公司申请的专利衬底notch等级确定方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120413460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510896804.2,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权衬底notch等级确定方法、装置、电子设备及存储介质是由崔景光;郑向光;汤欢;杨锐;吕敬文设计研发完成,并于2025-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底notch等级确定方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及衬底分类技术领域,尤其涉及一种衬底notch等级确定方法、装置、电子设备及存储介质,本发明方法其首先获取衬底notch的面幅宽度;然后根据所述面幅宽度将面幅等级定为P级或F级;接着在面幅等级为P级时对衬底进行面幅对称性判定以及崩边判定,并根据面幅对称性判定的结果以及崩边判定的结果确定衬底的等级;最后在面幅等级为F级时对衬底进行崩边判定,当崩边判定结果为低于崩边等级阈值时,将衬底定为降级衬底;否则对衬底进行返工处理。本发明方法能对notch的加工等级进行较为精准的分类,适应后续不同加工的需求,提高了成材率和加工效率。
本发明授权衬底notch等级确定方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种衬底notch等级确定方法,其特征在于,包括: 获取衬底notch的面幅宽度; 根据所述面幅宽度将面幅等级定为P级或F级; 在面幅等级为P级时对衬底进行面幅对称性判定以及崩边判定,并根据面幅对称性判定的结果以及崩边判定的结果确定衬底的等级; 在面幅等级为F级时对衬底进行崩边判定,当崩边判定结果为低于崩边等级阈值时,将衬底定为降级衬底;否则对衬底进行返工处理。
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