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龙图腾网获悉江苏集萃苏科思科技有限公司申请的专利一种工件台系统误差的校正系统及校正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120368851B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510856145.X，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种工件台系统误差的校正系统及校正方法是由曹敏;李依然;郑萧轩;李树楠设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工件台系统误差的校正系统及校正方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种工件台系统误差的校正系统及校正方法，系统包括长条镜、第一干涉仪、第二干涉仪和控制单元；长条镜位于工件台上，长条镜包括一体连接的第一镜面和第二镜面，第一镜面和第二镜面之间存在预设夹角，控制单元分别与第一干涉仪和第二干涉仪电连接；第一干涉仪用于确定第一镜面在第一光束上的第一位置信息；第二干涉仪用于确定第二镜面在第二光束上的第二位置信息；控制单元用于接收第一位置信息和第二位置信息，结合目标位置点，确定工件台的系统误差，以确定工件台的偏差补偿表；在实际运行时利用偏差补偿表对工件台进行补偿校正，以使校正后的系统误差达到预设偏差范围内。利用上述系统，实现了系统误差校正，提高测量精度。

本发明授权一种工件台系统误差的校正系统及校正方法在权利要求书中公布了：1.一种工件台系统误差的校正系统，其特征在于，包括：长条镜、第一干涉仪、第二干涉仪、基板和控制单元；所述长条镜位于所述工件台上，所述长条镜包括一体连接的第一镜面和第二镜面，所述第一镜面和所述第二镜面之间存在预设夹角，所述第一干涉仪的出光方向与所述第一镜面所在平面相交，所述第二干涉仪的出光方向与所述第二镜面所在平面相交；所述控制单元分别与所述第一干涉仪、所述第二干涉仪和所述工件台电连接；所述第一干涉仪和所述第二干涉仪位于所述基板相邻两侧；所述基板上设置有第一滑轨，所述工件台包括第一平台和第二平台，所述第一平台上设置有第二滑轨，所述第一平台位于所述第一滑轨上，所述第二平台位于所述第二滑轨上；所述第一滑轨的延伸方向为第一方向，所述第二滑轨的延伸方向为第二方向，所述第一方向和所述第二方向垂直；所述基板包括多个目标位置点； 所述第一干涉仪用于发射第一光束，并在所述第一光束到达所述第一镜面后产生第一反射光束，根据所述第一反射光束的相位变化确定所述第一镜面在所述第一光束上的第一位置信息； 所述第二干涉仪用于发射第二光束，并在所述第二光束到达所述第二镜面后产生第二反射光束，根据所述第二反射光束的相位变化确定所述第二镜面在所述第二光束上的第二位置信息； 所述控制单元用于接收所述第一位置信息和所述第二位置信息，根据所述第一位置信息和所述第二位置信息，结合目标位置点，确定所述工件台的系统误差，根据所述系统误差确定所述工件台的偏差补偿表；在实际运行时利用所述偏差补偿表对所述工件台进行补偿校正，以使校正后的所述系统误差达到预设偏差范围内； 所述控制单元还用于在所述第一平台和所述第二平台之间的夹角不为正交角时对正交误差角进行校正，所述正交误差角为所述正交角与所述夹角之间的差值； 其中，所述第二位置信息包括所述工件台处于当前目标位置点时所述第二干涉仪确定的第三位置信息和所述工件台运动至下一目标位置点时所述第二干涉仪确定的第四位置信息；所述第一位置信息包括所述工件台处于当前目标位置点时所述第一干涉仪确定的第五位置信息和所述工件台运动至下一目标位置点时所述第一干涉仪确定的第六位置信息； 所述控制单元用于控制所述第二平台沿所述第二滑轨从所述当前目标位置点运动至所述下一目标位置点，获取所述第三位置信息和所述第四位置信息，确定所述第二镜面相对所述第二方向正方向之间的第一偏差角；控制所述第一平台沿所述第一滑轨从所述当前目标位置点运动至所述下一目标位置点，获取所述第五位置信息和所述第六位置信息，确定所述第一镜面与所述第一方向正方向之间的第二偏差角；控制所述第二平台逆时针旋转预设角度，确定旋转后的所述第一偏差角和所述第二偏差角，并根据旋转前的所述第一偏差角、所述第二偏差角和旋转后的所述第一偏差角、所述第二偏差角确定所述长条镜的正交偏差角，所述正交偏差角为正交角与所述预设夹角之间的差值；根据旋转前的所述第一偏差角、所述第二偏差角和所述正交偏差角，确定所述工件台的正交误差角，并对所述正交误差角进行校正。

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