买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉无锡星微科技有限公司申请的专利一种适用于开放式装载设备晶圆凸片检测机构及调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120356852B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510846436.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种适用于开放式装载设备晶圆凸片检测机构及调节方法是由陆敏杰;王兆昆;刘毫毫设计研发完成，并于2025-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于开放式装载设备晶圆凸片检测机构及调节方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体加工设备技术领域，提供了一种适用于开放式装载设备晶圆凸片检测机构及调节方法。本发明包括装载平台和晶圆，装载平台的上表面设有凸片调节工装和第一料盒，晶圆水平摆放在第一料盒内部，凸片调节工装位于第一料盒侧面，凸片调节工装设有至少两个测量面，测量面与晶圆的侧面接触，每个测量面所在的竖直平面相互平行并具有距离差。本发明解决了料盒中的首、末层晶圆之间的检测结果差异性较大等问题；采用俯仰顶丝和前后顶丝提高凸片检测机构的定位精度，从而提高晶圆凸片的调节效率；改变凸片检测机构的定位方式，降低调节难度，节约生产装配成本。

本发明授权一种适用于开放式装载设备晶圆凸片检测机构及调节方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于开放式装载设备晶圆凸片检测机构，包括装载平台（1）和晶圆12），其特征在于，所述装载平台（1）的上表面设有凸片调节工装（11）和第一料盒（3），所述晶圆12）水平摆放在所述第一料盒（3）内部，所述凸片调节工装（11）位于所述第一料盒（3）侧面，所述凸片调节工装（11）设有至少两个测量面（11c），所述测量面（11c）与所述晶圆12）的侧面接触，每个所述测量面（11c）所在的竖直平面相互平行并具有距离差； 所述装载平台（1）设有凸片传感器（6），所述装载平台（1）还设有俯仰顶丝（10），所述俯仰顶丝（10）与所述凸片传感器（6）的上表面和或下表面接触，所述俯仰顶丝（10）能够调整凸片传感器（6）和水平面之间的夹角； 所述凸片调节工装（11）包括第一测量面和第二测量面，在检测过程中，所述晶圆先与凸片调节工装（11）的第一测量面接触，所述凸片调节工装（11）继续推进，所述第二测量面与晶圆接触时，所述凸片调节工装（11）停止；所述凸片传感器（6）朝靠近凸片调节工装（11）方向移动，所述凸片传感器（6）被触发时停止。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡星微科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。