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龙图腾网获悉珠海诚锋电子科技有限公司申请的专利一种晶圆六面检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120356851B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510812481.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆六面检测系统及方法是由孙元宏;许金诚;陈杰设计研发完成，并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆六面检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆六面检测系统及方法，包括：晶粒上料纠偏模块，用于确定待检测晶粒的位置，得到晶粒的位置补偿值；表面特征数据获取模块，用于基于晶粒的表面轮廓图像，获取晶粒表面特征数据；晶粒表面质量模块，用于构建晶粒表面质量评估模型，识别晶粒表面质量；侧面特征数据获取模块，用于基于晶粒侧面轮廓图像，获取晶粒侧面特征数据；晶粒侧面质量模块，用于构建晶粒侧面质量评估模型，识别晶粒侧面质量；晶粒下料处理模块，用于对晶粒进行下料处理。通过本发明提供的技术方法，显著提高了晶粒检测的精度、效率与智能化程度，具有广泛的适用性和扩展性，可广泛应用于多种工艺类型与材料的晶粒质量检测。

本发明授权一种晶圆六面检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆六面检测方法，其特征在于，所述方法包括： 通过上料纠偏相机获取待检测的晶粒图像，使用霍夫变换算法将晶粒的边缘轮廓中的边缘点转换为几何参数，确定待检测晶粒的位置，得到晶粒的位置补偿值； 通过Canny边缘检测算法提取晶粒的表面轮廓图像，并基于晶粒的表面轮廓图像，获取晶粒表面轮廓图像的形状因子、反射率梯度特征和纹理特征，构建晶粒表面特征数据； 根据晶粒表面轮廓图像特征数据、材料、工艺类型和规格，构建晶粒表面质量评估模型，识别晶粒表面质量； 通过Canny边缘检测算法提取晶粒的侧面轮廓，并基于晶粒侧面轮廓图像，获取晶粒侧面轮廓图像的形状因子、纹理特征、晶界宽度和晶界面积，构建晶粒侧面特征数据； 根据晶粒侧面轮廓图像特征数据、材料、工艺类型和规格，构建晶粒侧面质量评估模型，识别晶粒侧面质量； 根据晶粒表面质量评估结果和晶粒侧面质量评估结果，对晶粒进行下料处理； 其中，基于晶粒侧面轮廓图像，获取晶粒侧面轮廓图像的纹理特征，包括： 根据晶粒侧面轮廓图像，使用加权平均法将图像的RGB通道值转换为单一的灰度值；若电动滑台搭载光学相机运动，光照角度发生变化，则使用灰度值补偿单元，根据光照角度，对晶粒侧面轮廓灰度图像中的每个像素的灰度值进行补偿；根据补偿后的灰度值，获取晶粒侧面轮廓的灰度图像，并提取灰度共生矩阵；根据晶粒侧面轮廓图像的灰度共生矩阵，基于同质性计算公式计算同质性，并基于对比度计算公式计算对比度，将同质性和对比度作为晶粒侧面轮廓图像的纹理特征； 其中，所述根据光照角度，对晶粒侧面轮廓灰度图像中的每个像素的灰度值进行补偿，包括: 对于晶粒侧面轮廓图像中的每个像素，计算每个像素周围邻域的平均灰度值，并结合光照角度，使用光照补偿公式，计算光照补偿因子，其中，是图像中像素x,y的原始灰度值，是该像素周围邻域的平均灰度值，用来衡量局部光照强度，是一个常数，防止除零错误，通过历史数据拟合获得，是一个系数，控制光照变化的影响强度，通过历史数据拟合获得，是该像素的法线与光照方向的夹角，表示光照的角度变化，反映了表面光照条件的变化；根据光照补偿因子，使用公式，对晶粒侧面轮廓图像中的每个像素进行光照补偿，得到补偿后的灰度值。

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