买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利光刻机可变狭缝的控制方法、系统以及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120276220B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510780757.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机可变狭缝的控制方法、系统以及光刻机是由张琪;符友银;金建设计研发完成，并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机可变狭缝的控制方法、系统以及光刻机在说明书摘要公布了：本申请提供了一种光刻机可变狭缝的控制方法、系统以及光刻机，其中，该方法包括：全局控制器获取驱动装置中各电机的当前状态数据，全局控制器根据驱动装置中各电机之间的关联关系，确定至少一个电机组，全局控制器根据目标电机组中的各电机的当前状态数据，基于预先训练得到的行为预测模型进行协同预测，得到目标电机组中各电机在未来至少一个时间步的行为预测数据，并将各行为预测数据发送给分布式协同控制网络，分布式协同控制网络根据各行为预测数据并经由各电机控制器控制各电机运行。本申请实现了多电机的协同控制，提升了电机控制的实时性以及系统的抗干扰能力。

本发明授权光刻机可变狭缝的控制方法、系统以及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种光刻机可变狭缝的控制方法，其特征在于，应用于控制系统，所述控制系统包括：全局控制器、分布式协同控制网络以及驱动装置，所述驱动装置包括：多个电机以及与各电机对应连接的电机控制器；所述方法包括： 所述全局控制器获取所述驱动装置中各电机的当前状态数据，所述当前状态数据包括如下至少一种：各电机的速度、位置、外部扰动信息； 所述全局控制器根据所述驱动装置中各电机之间的关联关系，确定至少一个电机组，各所述电机组中包括多个所述电机，需要进行同步控制的刀片所连接的电机在同一电机组内，且同一电机组内的第一电机的移动信息受第二电机的影响； 所述全局控制器根据目标电机组中的各电机的当前状态数据，基于预先训练得到的行为预测模型进行协同预测，得到所述目标电机组中各电机在未来至少一个时间步的行为预测数据，并将各所述行为预测数据发送给所述分布式协同控制网络，所述行为预测数据包括：所述目标电机组中各电机的预测速度、预测位置； 所述分布式协同控制网络根据各所述行为预测数据并经由各所述电机控制器控制各所述电机运行。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新毅东(北京)科技有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼1层101-8；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。