深圳大学黄磊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利掩模图像生成方法、装置、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120339444B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510772327.9，技术领域涉及：G06T11/00；该发明授权掩模图像生成方法、装置、电子设备和存储介质是由黄磊;詹灏民;张猛;周宇;陆磊;韩子娟设计研发完成，并于2025-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模图像生成方法、装置、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种掩模图像生成方法、装置、电子设备和存储介质，属于光刻领域。用于光刻机的掩模图像生成方法，包括：获取多个目标工艺参数；将多个目标工艺参数输入至目标网络模型的多层感知层，获取多层感知层输出的目标重构图像；将目标重构图像、目标期望掩模图像和目标照明图像输入至目标网络模型的生成对抗网络层，获取生成对抗网络层输出的目标掩模图像。本申请的用于光刻机的掩模图像生成方法，能够适用于不同的光刻机以及光刻环境，进行自适应调整，从而得到更加精准的掩模图像，提高光刻系统的分辨率，具有较高的灵活性和普适性。
本发明授权掩模图像生成方法、装置、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种用于光刻机的掩模图像生成方法，其特征在于，包括： 获取多个目标工艺参数； 将所述多个目标工艺参数输入至目标网络模型的多层感知层，获取所述多层感知层输出的目标重构图像； 将所述目标重构图像、目标期望掩模图像和目标照明图像输入至所述目标网络模型的生成对抗网络层，获取所述生成对抗网络层输出的目标掩模图像；其中， 所述目标掩模图像用于供所述光刻机曝光，所述多层感知层的输出端与所述生成对抗网络层的输入端连接；所述目标网络模型基于多个训练样本训练得到； 所述将所述多个目标工艺参数输入至目标网络模型的多层感知层，获取所述多层感知层输出的目标重构图像，包括： 将所述多个目标工艺参数输入至目标网络模型的多层感知层，由所述多层感知层学习各所述目标工艺参数的影响权重，将各所述目标工艺参数映射为目标特征向量，所述目标特征向量用于表征各所述目标工艺参数之间的关联关系； 将所述目标特征向量重构为单通道图像，得到所述目标重构图像。
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