中国科学院西安光学精密机械研究所李思奇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种微纳尺寸波片相位延迟量的测量装置及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120275010B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510765118.1,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种微纳尺寸波片相位延迟量的测量装置及测量方法是由李思奇;赵家祺;王国玺;张文富设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微纳尺寸波片相位延迟量的测量装置及测量方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种微纳尺寸波片相位延迟量的测量装置及测量方法,用于解决现有波片相位延迟量的测量方法存在的无法对微纳尺寸下的波片进行表征和测量、光学检测设备昂贵、整体实验测量方案操作复杂、系统通用性较差,以及基于穆勒矩阵推导出波片相位延迟量的测量方案测量结果不稳定度较高的技术问题。本发明采用积分球对可调谐光源出射的光进行调制形成无偏光,再通过整形反射单元将无偏光整形为平面光束后正入射至第一线偏振片,以出射不同偏振角的完全线偏振光;同时在显微物镜和套筒透镜之间设置第二线偏振片,通过调整第二线偏振片的检偏角降低光强抖动、系统透过率和波片旋转定位精度等因素对测量结果的干扰,有效保证了测量精度。
本发明授权一种微纳尺寸波片相位延迟量的测量装置及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种微纳尺寸波片相位延迟量的测量装置,其特征在于: 包括可调谐光源(1)、积分球(2)、整形反射单元、第一线偏振片(8)、显微物镜(11)、第二线偏振片(12)、套筒透镜(13)、探测器(14)以及计算机(15); 所述积分球(2)的入光口位于可调谐光源(1)的出光光路上,用于对可调谐光源(1)出射的光进行调制,使其转化为强度均匀的无偏光后,从积分球(2)的出光口出射; 所述整形反射单元位于无偏光的出射光路上,用于将无偏光整形为平面光束,并调整平面光束方向,形成照明光; 所述第一线偏振片(8)位于照明光的光路上,通过第一线偏振片(8)在不同角度的旋转将照明光转换为带有不同偏振角的完全线偏振光; 所述显微物镜(11)、套筒透镜(13)、探测器(14)沿完全线偏振光的光路传输方向依次同轴设置,套筒透镜(13)位于显微物镜(11)后的工作距离内,探测器(14)位于套筒透镜(13)的焦点位置;待测波片(9)同轴设置于第一线偏振片(8)与显微物镜(11)之间,经第一线偏振片(8)的完全线偏振光用于对待测波片(9)进行照明,形成加载有待测波片(9)信息的光信号;显微物镜(11)和套筒透镜(13)用于采集加载有待测波片(9)信息的光信号,并成像在探测器(14)上; 所述第二线偏振片(12),用于设置在显微物镜(11)和套筒透镜(13)之间,使经显微物镜(11)放大的加载有待测波片(9)信息的光信号归一化为同一个线偏振态; 所述计算机(15)的输入端连接探测器(14)的输出端,用于存储探测器(14)获取的图像,并根据探测器(14)获取的图像确定待测波片(9)的相位延迟量。
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