中国科学院光电技术研究所柴芳芳获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种用于变形镜斜率响应矩阵偏移误差修正的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120194913B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510655976.0,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种用于变形镜斜率响应矩阵偏移误差修正的方法是由柴芳芳;赵旺;王帅;杨康建;孔令曦;刘生虎;赵晨思;官泓利设计研发完成,并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于变形镜斜率响应矩阵偏移误差修正的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于变形镜斜率响应矩阵偏移误差修正的方法,属于波前校正技术领域。通过同时驱动多个驱动器精确测量变形镜相对于系统设计原位置的偏移误差,可显著拓展偏移量的测量范围及精度;打破重新测量响应矩阵的常规修正方法,将插值理论引入响应矩阵的修正,仅根据初始响应矩阵就可实现变形镜响应矩阵关于偏移误差的修正,提升系统的闭环校正效果。本发明不受变形镜驱动器密度及排布的限制,通过对变形镜偏移误差的测量及其响应矩阵的修正,保证了系统运行的稳定性,提升了系统的校正效率和精度,具有简单实用的特点。
本发明授权一种用于变形镜斜率响应矩阵偏移误差修正的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于变形镜斜率响应矩阵偏移误差修正的方法,其特征在于,包括: 步骤1:根据变形镜和哈特曼波前传感器参数,选定一组中心对称的驱动器作为作用驱动器; 步骤2:对作用驱动器施加电压,波前传感器采集对应的波前斜率,同时计算驱动器不同偏移量对应的斜率响应矩阵,制定系统对应的斜率模板; 步骤3:计算采集的波前斜率与斜率模板的相似性,基于所述相似性得到当前系统中全部变形镜驱动器位置相对原位置的偏移量; 步骤4:基于所述偏移量分别对非边缘子孔径和边缘子孔径建立变形镜斜率响应矩阵偏移误差的修正模型,包括: 步骤4.1、对于非边缘子孔径对应的斜率响应矩阵,根据偏移量利用原斜率响应矩阵数据,对相位点进行插值,通过推导各子孔径与其周围子孔径的函数关系,重新计算得到当前状态对应的变形镜驱动器斜率响应矩阵; 步骤4.2、对于边缘子孔径对应的斜率响应矩阵,利用变形镜面形响应函数计算的理论数据完成对边缘子孔径的斜率响应矩阵的补齐。
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