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龙图腾网获悉深圳市道格特科技有限公司申请的专利一种MEMS探针卡半自动PIN校正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119916286B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510397540.6，技术领域涉及：G01R35/02；该发明授权一种MEMS探针卡半自动PIN校正方法是由刘志华;陈冲设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS探针卡半自动PIN校正方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体测试技术领域，公开了一种MEMS探针卡半自动PIN校正方法，包括以下步骤：将探针卡固定在固定平台上，通过操作界面调整大型工具显微镜的焦距和放大倍数，使探针显示在图像采集系统中；启动图像采集与处理系统，采集探针与目标PIN点的初始图像，并提取探针的位置和尺寸参数；装置包括：大型工具显微镜，用于对探针进行高分辨率成像并观察探针与目标PIN点的关系；探针卡固定平台，用于固定探针卡。本发明采用基于高分辨率图像采集与实时反馈调整的技术方案，实现了探针卡与目标PIN点之间的精准对准，通过实时图像反馈和精确的路径优化，确保探针卡在校准过程中的每一步都能精确到位。

本发明授权一种MEMS探针卡半自动PIN校正方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS探针卡半自动PIN校正方法，其特征在于，包括以下步骤： 将探针卡固定在固定平台上，通过操作界面调整大型工具显微镜的焦距和放大倍数，使探针显示在图像采集系统中； 启动图像采集与处理系统，采集探针与目标PIN点的初始图像，并提取探针的位置和尺寸参数； 根据预设的校准标准，运动控制系统自动调整探针卡的位置，使探针接近标准位置； 用户通过操作界面进行微调，用于调整探针的位置精度； 重复以上步骤，依次对探针卡上的多个探针进行校准； 校准完成后，使用图像采集与处理系统采集探针与目标PIN点的最终图像，并与校准前的图像进行对比分析，同时通过实时图像反馈调整探针卡路径，用于探针卡精准对准目标PIN点，并对探针卡移动的路径进行优化； 探针卡移动的路径优化通过最优控制理论与粒子群优化算法结合进行； 通过李雅普诺夫稳定性理论分析探针卡移动的路径的稳定性，并进一步调整路径以验证路径优化效果，用于探针卡始终精确对准目标PIN点； 所述预设的校准标准包括： 探针与目标PIN点之间的标准距离； 探针的标准角度范围； 探针基板的对准偏差容限； 所述路径优化与调整步骤包括： 根据计算的探针与目标PIN点之间的偏差，生成初步路径； 使用最优控制理论调整路径，使路径符合预定的时间或能量消耗要求； 通过加速度、速度物理约束，调整路径中的运动参数； 实时反馈修正路径，用于探针卡与目标PIN点精确对准； 所述最优控制理论调整路径步骤包括： 根据探针与目标PIN点之间的偏差，设定路径优化目标函数； 利用最优控制理论求解路径的时间最小化或能量最小化问题； 在求解过程中，通过加速度、速度物理约束，调整路径的运动轨迹； 生成最优路径并进行实时更新，用于确保路径符合控制要。

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