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龙图腾网获悉深圳市盛鸿运科技有限公司申请的专利一种钛板的蚀刻方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119663282B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510027879.7，技术领域涉及：C23F1/26；该发明授权一种钛板的蚀刻方法及装置是由邵霞;吴喜鹏;张健设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种钛板的蚀刻方法及装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种钛板的蚀刻方法及装置。所述方法包括：获取钛板数据和目标需求数据；根据所述钛板数据和所述目标需求数据，确定关键词；根据所述关键词和预存蚀刻液数据，确定目标蚀刻液数据；根据预设条件、所述目标蚀刻液数据和所述钛板数据，确定蚀刻参数；按照所述蚀刻参数对目标钛板进行蚀刻处理。本发明通过获取钛板数据和目标需求数据，进而确定关键词，通过关键词和预存蚀刻液数据，确定目标蚀刻液数据，再根据预设条件、目标蚀刻液数据和钛板数据，确定蚀刻参数，根据蚀刻参数对目标钛板进行蚀刻处理，不仅能够提高钛板蚀刻时蚀刻参数的准确性，而且能够提高钛板蚀刻的工作效率和蚀刻结果的满意度。

本发明授权一种钛板的蚀刻方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种钛板的蚀刻方法，其特征在于，包括： 获取钛板数据和目标需求数据； 根据所述钛板数据和所述目标需求数据，确定关键词； 根据所述关键词和预存蚀刻液数据，确定目标蚀刻液数据； 根据预设条件、所述目标蚀刻液数据和所述钛板数据，确定蚀刻参数； 按照所述蚀刻参数对目标钛板进行蚀刻处理； 其中，根据所述关键词和预存蚀刻液数据，确定目标蚀刻液数据，包括： 获取预存蚀刻液数据；所述预存蚀刻液数据包括：多种钛板的化学成分、多种蚀刻图案的线条或结构的类型、多种精度和复杂度、多种蚀刻深度对应的不同的蚀刻液数据，蚀刻液数据包括蚀刻液类型、蚀刻液浓度和蚀刻液温度； 按照所述关键词对所述预存蚀刻液数据进行查找，得到蚀刻液类型、蚀刻液浓度和蚀刻液温度； 根据所述蚀刻液类型、所述蚀刻液浓度和所述蚀刻液温度，确定目标蚀刻液数据； 其中，根据预设条件、所述目标蚀刻液数据和所述钛板数据，确定蚀刻参数，包括： 获取预设条件；所述预设条件包括：蚀刻速率与蚀刻液浓度成正比、与温度成正比； 根据所述预设条件，确定蚀刻参数预测模型；所述蚀刻参数预测模型包括以下任一： ，其中，V为蚀刻速率；k为常数，C为蚀刻液的浓度，T为蚀刻液的温度，t为蚀刻时间，n为一个指数，表示蚀刻速率随时间变化的程度； 蚀刻选择比=蚀刻速率掩膜材料的蚀刻速率，蚀刻选择比是指在蚀刻过程中，钛板相对于掩膜材料的蚀刻速率之比； ，其中，V是蚀刻速率，为钛板的厚度，t为蚀刻时间； ，其中，h为蚀刻深度，V是蚀刻速率，t为蚀刻时间； ，其中，t为蚀刻时间，h为蚀刻深度，V是蚀刻速率； 根据所述目标蚀刻液数据、所述钛板数据和所述蚀刻参数预测模型，得到蚀刻参数。

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