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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学;上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种光阑运动装置及其扫描运动方法、曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119575765B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411840075.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光阑运动装置及其扫描运动方法、曝光装置是由吴剑威;周永松;郑健;张玉荣设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光阑运动装置及其扫描运动方法、曝光装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光阑运动装置及其扫描运动方法、曝光装置，涉及半导体设备技术领域，装置包括相连接的运动组件和质量平衡组件，运动组件包括第一导轨、第一滑块、第二滑块、第一驱动件和第二驱动件，质量平衡组件包括第一导轨、第三滑块、第四滑块、第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件和第三驱动件电连接于第一控制电路中，第二驱动件和第四驱动件电连接于第二控制电路中。该装置结构简单，第三滑块和第四滑块可分别随第一滑块和第二滑块的运动进行无延迟地同步反向运动，相较于现有技术，该装置的设计减少了对复杂控制算法的需求，具有更快的响应速度，可以更及时地实现反力平衡。

本发明授权一种光阑运动装置及其扫描运动方法、曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种光阑运动装置，其特征在于，包括相连接的运动组件和质量平衡组件； 所述运动组件包括： 第一导轨11，沿第一方向延伸设置； 运动单元，包括可滑动设于所述第一导轨11的第一滑块12和第二滑块13，所述第一滑块12和所述第二滑块13沿所述第一方向间隔设置，所述第一滑块12和所述第二滑块13上均设有光阑片14； 第一驱动件和第二驱动件，用于分别驱使所述第一滑块12和所述第二滑块13在所述第一导轨11上沿所述第一方向运动； 所述质量平衡组件包括： 第二导轨21，与所述第一导轨11平行且与所述第一导轨11在第二方向上对称设置，所述第一方向与所述第二方向垂直； 质量平衡单元，包括可滑动设于所述第二导轨21的第三滑块22和第四滑块23，所述第三滑块22和所述第四滑块23沿所述第一方向间隔设置； 第三驱动件和第四驱动件，用于分别驱使所述第三滑块22和所述第四滑块23在所述第二导轨21上沿所述第一方向运动； 所述第一驱动件和所述第三驱动件电连接于第一控制电路中，所述第一控制电路用于控制所述第一驱动件和所述第三驱动件同步产生大小相等且方向相反的驱动力；所述第二驱动件和所述第四驱动件电连接于第二控制电路中，所述第二控制电路用于控制所述第三驱动件和所述第四驱动件同步产生大小相等且方向相反的驱动力。

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