无锡互创芯微半导体科技有限公司白军军获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡互创芯微半导体科技有限公司申请的专利一种静电吸盘加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119673854B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411829851.7，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种静电吸盘加工装置是由白军军设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘加工装置在说明书摘要公布了：本发明涉及静电吸盘设备技术领域，提供了一种静电吸盘加工装置，包括由上至下相互同心连接的上层单元、中层单元、下层单元，上层单元包括第一盘体和第二盘体配合在水平面上形成波浪形的首位连通的空隙，空隙上还设有进一步靠近第一盘体圆心并间隔设置的凸起滑轨形成固定滑道，下层单元包括具有内齿的底座，底座的底座上还设置有底座环槽，底座环槽内设置有起伏部。通过设置的上层单元用于控制切入单元在其上运动轨迹，中层单元控制切入单元在水平滑移，下层单元控制切入单元上下滑移，实现嵌入静电吸盘间的缝隙，抬升后，将静电吸盘间的缝隙展开。
本发明授权一种静电吸盘加工装置在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘加工装置，其特征在于：包括由上至下相互同心连接的上层单元（1）、中层单元（2）、下层单元（5）； 所述上层单元（1）包括第一盘体（11）和第二盘体（12）配合在水平面上形成波浪形的首尾连通的空隙（13），空隙（13）上还设有进一步靠近第一盘体（11）圆心并间隔设置的凸起滑轨形成固定滑道； 所述下层单元（5）包括具有内齿的底座（51），底座（51）的底座上还设置有底座环槽（52），底座环槽（52）内设置有起伏部（53）； 还包括旋转单元（3）和切入单元（4），旋转单元（3）嵌入式设置于中层单元（2）的内壁并在其内壁上旋转，连接在旋转单元（3）上的切入单元（4）沿空隙（13）和起伏部（53）的轨迹配合，切入单元（4）上的切入刀（41）沿固定滑道与静电吸盘缝隙抵持配合，切入单元（4）驱动底座（51）转动将其抬升从而使得静电吸盘展开拆卸。
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