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中国科学院上海微系统与信息技术研究所武震宇获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利压电振动传感器模组获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119533640B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411704805.4,技术领域涉及:G01H11/08;该发明授权压电振动传感器模组是由武震宇;汪洋;李安娜;张程;张家昌设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

压电振动传感器模组在说明书摘要公布了:本发明提供一种压电振动传感器模组,压电振动传感器模组包括阻尼基板盖板和阻尼基板底座、质量块、压电悬梁臂、固定框架、电荷电压放大器;其中,质量块通过压电悬梁臂悬空在阻尼基板盖板和阻尼基板底座之间,通过质量块的接收外界振动信号,带动压电悬梁臂的振动,产生压电感应信号,形成竖向的压电振动传感器模组,实现了竖向的止挡功能,提升了压电振动传感器模组的抗冲击能力;同时采用多个开口模组单元叠加并与阻尼基板底座结合,叠加多个压电感应信号,通过电荷电压放大器实现信号的放大,成倍的提升了压电振动传感器模组的灵敏度和可靠性,降低了工艺复杂度,节约了流片成本。

本发明授权压电振动传感器模组在权利要求书中公布了:1.一种压电振动传感器模组,其特征在于,所述压电振动传感器模组包括: 阻尼基板,所述阻尼基板包括阻尼基板盖板及阻尼基板底座; 固定框架,所述固定框架设置于所述阻尼基板盖板与所述阻尼基板底座之间,且所述固定框架、所述阻尼基板盖板与所述阻尼基板底座之间具有振动腔; 压电悬梁臂,所述压电悬梁臂与所述固定框架连接,位于所述振动腔中,所述阻尼基板盖板中设置有与所述压电悬梁臂电连接的电学重布线; 质量块,所述质量块与所述压电悬梁臂连接,且悬置于所述振动腔中,所述质量块包括相对设置的第一端和第二端,所述质量块的第一端与所述阻尼基板盖板之间具有第一距离h1,所述质量块的第二端与所述阻尼基板底座之间具有第二距离h2;将压电悬梁臂断裂强度下所述质量块的最大位移距离记作D100,将D100的80%记作D80,所述第一距离h1的范围为D80≤h1≤D100,所述第二距离h2的范围为D80≤h2≤D100; 所述固定框架、所述压电悬梁臂及所述质量块采用MEMS技术一体化形成; 所述阻尼基板盖板、所述固定框架、所述压电悬梁臂及所述质量块组成一个开口模组单元,所述压电振动传感器模组还包括一个所述阻尼基板底座和至少两个层叠的所述开口模组单元,相邻的所述开口模组单元电性相连。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所,其通讯地址为:200050 上海市长宁区长宁路865号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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