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龙图腾网获悉无锡迪渊特科技有限公司申请的专利一种等离子体蚀刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119767551B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411704242.9，技术领域涉及：H05K3/06；该发明授权一种等离子体蚀刻机是由王迪杏;王宁;陆海涛设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体蚀刻机在说明书摘要公布了：本发明涉及等离子体蚀刻机技术领域，公开了一种等离子体蚀刻机，包括安装单元、翻转单元、等离子体蚀刻组件和清理单元，安装单元包括蚀刻机本体，蚀刻机本体一侧壁固定安装有安装壳体，蚀刻机本体内腔安装有凹型放置壳体。本发明，当L形连接杆水平移动的时候将能够带动齿条水平移动，齿条水平移动的时候将能够带动齿环在转杆的辅助下进行转动，当转杆转动的时候将能够带动回形安装框进行转动，而回形安装框内设置有夹持组件，通过夹持组件能够对被放置的材料进行夹持，从而使得此时被夹持的材料也能够进行翻转，从而实现换面，同时安装板移动的时候将能够通过L形挤压杆推动等离子体蚀刻组件在滑轨的辅助下能够位于翻转后的材料上方。

本发明授权一种等离子体蚀刻机在权利要求书中公布了：1.一种等离子体蚀刻机，包括安装单元（100）、翻转单元（200）、等离子体蚀刻组件（300）和清理单元（400），其特征在于， 所述安装单元（100）包括蚀刻机本体（101），所述蚀刻机本体（101）一侧壁固定安装有安装壳体（102），所述蚀刻机本体（101）内腔安装有凹型放置壳体（106），所述蚀刻机本体（101）上方设置有密封门（103），所述蚀刻机本体（101）上分别设置有第一连接管道（104）和第二连接管道（105），所述第一连接管道（104）和第二连接管道（105）另一端分别连接在安装壳体（102）内，所述第一连接管道（104）和第二连接管道（105）上分别设置有抽气泵（1041）和进气泵（1051）,所述安装壳体（102）底部设置有出水口（1022）； 所述翻转单元（200）包括第一放置板（201）和第二放置板（2011），所述第二放置板（2011）上方开设有放置槽口（2012），所述第一放置板（201）上方设置有回形安装框（2013），所述回形安装框（2013）内腔四周均设置有多个等距分布设置的夹持组件（2014），所述回形安装框（2013）一侧壁固定贯穿有转杆（2032），所述转杆（2032）两端分别设置有轴承（2033），所述轴承（2033）分别安装在凹型放置壳体（106）相对的两侧壁，所述转杆（2032）上方设置有传动机构，所述传动机构用于驱动转杆（2032）进行转动； 所述凹型放置壳体（106）于第一连接管道（104）处固定安装有圆形安装筒（202），所述圆形安装筒（202）内腔密封设置有活塞板（2021），所述活塞板（2021）远离第一连接管道（104）的一端固定连接有移动杆（2022），所述移动杆（2022）另一端活动贯穿于圆形安装筒（202），所述圆形安装筒（202）底部开设有出气口（2028）；所述移动杆（2022）远离活塞板（2021）的一端固定连接有安装板（2023），所述安装板（2023）两端分别设置有第二滑动机构，所述第二滑动机构包括两个第二滑槽（2025），两个所述第二滑槽（2025）分别开设在凹型放置壳体（106）相对的两侧壁，两个所述第二滑槽（2025）相互对称，两个所述第二滑槽（2025）内腔均滑动安装有第二滑块（2026），两个所述第二滑块（2026）相对的一侧壁固定连接在安装板（2023）上，两个所述第二滑槽（2025）内壁固定安装有第二复位弹簧（2027），两个所述第二复位弹簧（2027）另一端固定连接在第二滑块（2026）上，所述安装板（2023）上方固定安装有L形挤压杆（2024），所述安装板（2023）一侧壁底部还固定安装有L形连接杆（203）； 所述传动机构包括齿条（2031），所述齿条（2031）一端固定连接在L形连接杆（203）一端，所述齿条（2031）下方啮合安装有齿环（2034），所述齿环（2034）固定安装在转杆（2032）上；当气体进入内腔时，顶动活塞板（2021）带动移动杆（2022）以及安装板（2023）移动，安装板（2023）带动L型挤压杆推动等离子体蚀刻组件移动，安装板（2023）还通过L型连接杆（203）、齿条（2031）以及齿环（2034）的联动，带动回型安装框及其上夹持的材料进行翻面，并在关闭气泵后，在多个复位弹簧的共同作用下，使等离子体蚀刻组件和回型安装框复位； 所述清理单元（400）包括过滤板（401），所述过滤板（401）上方安装有水箱（4011），所述水箱（4011）和安装壳体（102）上设置有进水口（1021），所述水箱（4011）内腔转动安装有圆形转动筒（4013），所述圆形转动筒（4013）活动贯穿于过滤板（401），所述圆形转动筒（4013）于水箱（4011）内腔固定安装有圆筒密封壳（4012），所述圆筒密封壳（4012）和圆形转动筒（4013）相互贴合，所述圆筒密封壳（4012）和圆形转动筒（4013）上均开设有过滤孔，所述圆形转动筒（4013）底部设置有多个喷洒头（4014）。

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