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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119802242B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411692612.1，技术领域涉及：F16K1/00；该发明授权一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀是由赵子旭;李加平;辛洪旭设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀在说明书摘要公布了：本发明涉及真空角阀技术领域，具体是一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀，包括波纹管、阀体和驱动组件，阀体中心设置有与波纹管外形间隙配合的空腔，在空腔的底部和侧面分别设置有通气口，在波纹管的底部固定连接有波纹管下法兰，在波纹管下法兰上设置有与底部相通的径向孔。该适用于半导体行业的快慢抽真空角阀通过串联式气缸结构设计，实现阀门的双向开门运动，实现双流导功能；同时规避了在升降运动过程中阀门整体尺寸的变化，从而减小了使用空间，增加产品外观性；通过阀门开关过程的缓冲结构设计，从而规避了开关门过程中出现的金属件的冲击问题，避免了机械颗粒的产生，提高了阀门的洁净度。

本发明授权一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀在权利要求书中公布了：1.一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀，其特征在于，包括波纹管（7）、阀体（9）和驱动组件，阀体（9）中心设置有与波纹管（7）外形间隙配合的空腔，在空腔的底部和侧面分别设置有通气口，在波纹管（7）的底部固定连接有波纹管下法兰，在波纹管下法兰上设置有与底部相通的径向孔； 在驱动组件的作用，当波纹管下法兰与空腔的底部贴紧且径向孔不通时，空腔的底部通气口与侧面通气口不相通；当波纹管下法兰与空腔的底部贴紧且径向孔与底部相通时，空腔的底部通气口与侧面通气口通过径向孔连通，达到软开门状态；当波纹管下法兰与空腔的底部远离时，空腔的底部通气口与侧面通气口通过波纹管下法兰与空气的底部空闲连通，达到硬开门状态； 所述驱动组件包括气缸体（1）、主活塞（2）、气缸盖（4）、辅活塞（5）和芯轴（8），气缸体（1）固定连接在阀体（9）的顶部，在气缸体（1）内气密性地设置有主活塞（2），在气缸体（1）的底部气密性地固定连接有气缸盖（4），在气缸体（1）分别设置有SOFT进气口和PUMP进气口，在气缸盖（4）的中心气密性地可滑动地安装有辅活塞（5），在辅活塞（5）的顶部与主活塞（2）之间安装有辅弹簧（3），在气缸盖（4）与波纹管下法兰之间安装有主弹簧（6），芯轴（8）的顶部与主活塞（2）固定连接，芯轴（8）依次穿过辅活塞（5）和波纹管下法兰后芯轴（8）的底部设置在波纹管下法兰的底部与径向孔连通处，当芯轴（8）的底部紧贴在波纹管下法兰的底部时，波纹管下法兰的底部与径向孔不相通； 当处于常闭状态时，主弹簧（6）与辅弹簧（3）分别提供的预压缩力，使波纹管下法兰与空腔的底部贴紧且径向孔不通；当需打开软抽功能时，对SOFT进气口通气，主活塞（2）压缩辅弹簧（3）向下运动，辅活塞（5）保持不动，主活塞（2）使芯轴（8）向下运动，使常态下的芯轴（8）与波纹管下法兰脱离，空腔底部和侧面的两个通气口经由波纹管下法兰的径向孔构成导通态，达到软开门状态；当需打开硬抽功能时，对PUMP进气口通气，主活塞（2）会连带芯轴（8）、波纹管下法兰、辅活塞（5）向上运动，（6）压缩主弹簧和压缩波纹管（7），使波纹管下法兰与阀体（9）脱离，空腔底部和侧面的两个通气口直接导通，达到硬开门状态。

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