上海芯立电子科技有限公司郭杰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯立电子科技有限公司申请的专利一种刻蚀机真空腔体检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223319990U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422854892.3，技术领域涉及：G01M3/20；该实用新型一种刻蚀机真空腔体检测装置是由郭杰;秦宝宏;辛奇;徐锋;文冬;闫乐成;胡凯设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀机真空腔体检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种刻蚀机真空腔体检测装置，涉及刻蚀机技术领域，包括底座，所述底座顶部固定连接有机架，所述机架一侧固定连接有液压推杆，本实用新型中，支撑板与螺纹杆之间转动连接，支撑板和检测架之间固定连接有电动推杆，利用电机一驱动丝杠转动时，吸枪沿待测工件一侧缓慢移动，然后电动推杆驱动检测架升降，调节检测架的使用高度，调节吸枪的检测范围，实现对待测工件两个侧壁的同时检测，从而快速判断待测工件的侧壁是否存在泄漏，可避免泄漏点的遗漏，进而提高检测的准确性，利用电机二驱动齿轮一转动，齿轮二和限位板同步转动，改变待测工件在导向架顶部的方向，从而便于调整待测工件的检测位置。
本实用新型一种刻蚀机真空腔体检测装置在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀机真空腔体检测装置，包括底座5，所述底座5顶部固定连接有机架3，其特征在于：所述机架3一侧固定连接有液压推杆1，所述液压推杆1底部设置有检测机构，所述检测机构包括检测架7、电机一10和电动推杆16，两个所述检测架7之间固定连接有L型板14，所述L型板14一侧固定连接有固定块15，所述固定块15一侧固定连通有辅助管13，所述辅助管13一端固定连通有吸枪23，所述吸枪23顶部固定连接有导向块，导向块与检测架7之间滑动连接，且所述导向块通过螺纹连接有丝杠17，所述丝杠17一端固定连接有电机一10，所述电机一10一侧与检测架7固定连接，所述检测架7底部与电动推杆16固定连接，所述电动推杆16底部固定连接有支撑板8。
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