盛吉盛半导体技术(上海)有限公司张迎晨获国家专利权
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龙图腾网获悉盛吉盛半导体技术(上海)有限公司申请的专利一种真空腔室氦检装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223319991U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422857643.X，技术领域涉及：G01M3/20；该实用新型一种真空腔室氦检装置是由张迎晨;崔凡振设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空腔室氦检装置在说明书摘要公布了：本申请属于真空设备技术领域，公开一种真空腔室氦检装置，包括：检漏真空总管，与氦检仪连接；多个检漏真空支管，连接于检漏真空总管与各真空腔室之间；检漏角阀，连接在所述检漏真空支管与对应真空腔室之间，用于控制检漏真空支管与各个真空腔室之间的通断。本申请不需要拆装波纹管，当任意一真空腔室需要氦检时，使用控制单元控制检漏角阀打开，从而使得氦检仪与被检测的真空腔室连通，再进行氦检操作。由于无需重复拆装波纹管以及进行抽气和充气操作，增加工作效率。
本实用新型一种真空腔室氦检装置在权利要求书中公布了：1.一种真空腔室氦检装置，其特征在于，包括： 检漏真空总管，与氦检仪连接； 多个检漏真空支管，连接于检漏真空总管与各真空腔室之间； 检漏角阀，连接在所述检漏真空支管与对应真空腔室之间，用于控制检漏真空支管与对应真空腔室之间的通断。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛吉盛半导体技术(上海)有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区(上海)自由贸易试验区临港新片区丽正路1628号4幢1-2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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