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龙图腾网获悉深圳市路远智能装备有限公司申请的专利芯片角度矫正扩膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786377B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411669316.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权芯片角度矫正扩膜装置是由袁虎;贾孝荣;邓泽峰;陈金亮;付文定;张力平;李志武设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本芯片角度矫正扩膜装置在说明书摘要公布了：本发明公开了芯片角度矫正扩膜装置，包括支撑座、环卡、扩环底座、扩膜固定座、扩膜驱动机构和角度矫正机构，所述角度矫正机构包括设置于支撑座上的轴承支撑组件和校准组件，所述校准组件包括步进电机、丝杆模组、校准丝杆底座和校准轴滑台，所述步进电机用于驱动丝杆模组的丝杆转动，所述校准轴滑台与丝杆模组的螺母固定连接，且所述校准轴滑台滑动连接于所述校准丝杆底座上，所述校准轴滑台上设置有U型滑槽，所述扩环底座上设置有凸轮随动器，所述凸轮随动器连接于所述U型滑槽内；当所述校准轴滑台移动时，所述凸轮随动器于U型滑槽中移动并用于带动所述扩环底座转动。本发明的芯片角度矫正扩膜装置，能够快速矫正芯片的角度，矫正精度高。

本发明授权芯片角度矫正扩膜装置在权利要求书中公布了：1.芯片角度矫正扩膜装置，包括支撑座、环卡、扩环底座、扩膜固定座、扩膜驱动机构和角度矫正机构，所述环卡套接于所述扩膜固定座的外周，所述扩膜固定座固定连接于扩环底座上，所述扩膜驱动机构安装于支撑座上并用于带动所述环卡靠近或远离扩环底座移动，其特征在于： 所述角度矫正机构包括设置于支撑座上的轴承支撑组件和校准组件，所述轴承支撑组件包括多个呈环形均匀分布的推力深沟球轴承，且多个所述推力深沟球轴承的外周面均设置有V型滑槽，所述扩环底座的侧边设置有多个环形凸沿，多个环形凸沿均以所述扩环底座的中心为圆心，且所述环形凸沿的纵截面形状为V型，多个环形凸沿与多个V型滑槽一一对应，且环形凸沿滑动连接于V型滑槽内； 所述校准组件包括步进电机、丝杆模组、校准丝杆底座和校准轴滑台，所述步进电机用于驱动丝杆模组的丝杆转动，所述校准轴滑台与丝杆模组的螺母固定连接，且所述校准轴滑台滑动连接于所述校准丝杆底座上，所述校准轴滑台上设置有U型滑槽，所述扩环底座上设置有凸轮随动器，所述凸轮随动器连接于所述U型滑槽内； 当所述校准轴滑台移动时，所述凸轮随动器于U型滑槽中移动并用于带动所述扩环底座转动； 所述推力深沟球轴承的数量为四个，其中，靠近所述校准轴滑台的两个所述推力深沟球轴承通过固定旋转轴连接于所述支撑座上，另外两个所述推力深沟球轴承通过偏向旋转轴连接于所述支撑座上。

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