哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)陈灿强获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)申请的专利一种等离子体增强原子层沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223316781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422814684.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种等离子体增强原子层沉积设备是由陈灿强;曹勇;郭宏辉;杨智;王岳凡;海旭设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体增强原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及等离子体镀膜领域，特别涉及一种等离子体增强原子层沉积设备。其包括真空腔组件、旋转床组件、等离子体发生组件，真空腔组件包括旋转床密封腔体、密封端盖、旋转床套件，旋转床组件包括粉体旋转床、旋转床端盖、出气转轴，出气转轴安装在旋转床密封腔体内，旋转床组件位于旋转床密封腔体内部，粉体旋转床的一端与旋转床端盖连接，旋转床端盖与出气转轴连接，旋转床套件连接在密封端盖的内侧，密封端盖与旋转床密封腔体连接，粉体旋转床的另一端与旋转床套件的间隙配合，密封端盖的外侧对接等离子体发生组件。改进了粉体材料沉积方式，并对旋转床进行了快拆设计，提高材料处理效率。
本实用新型一种等离子体增强原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体增强原子层沉积设备，其特征在于，包括真空腔组件、旋转床组件、等离子体发生组件，所述真空腔组件包括旋转床密封腔体、密封端盖、旋转床套件，所述旋转床组件包括粉体旋转床、旋转床端盖、出气转轴，所述出气转轴安装在旋转床密封腔体内，所述旋转床组件位于旋转床密封腔体内部，所述粉体旋转床的一端与旋转床端盖连接，所述旋转床端盖与出气转轴连接，所述旋转床套件连接在密封端盖的内侧，所述密封端盖与旋转床密封腔体连接，所述粉体旋转床的另一端与旋转床套件的间隙配合，所述密封端盖的外侧对接等离子体发生组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)，其通讯地址为：518055 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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