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龙图腾网获悉广东欧莱高新材料股份有限公司申请的专利一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119553227B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411622639.3，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法是由李天柱;文宏福;卢宽宽;李鹏;吴旭明设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法，本发明在制备靶材步骤中采用球体形状、棱锥体形状和足球状的氧化铟粉制备靶材，且棱锥体形状和足球形状的氧化铟粉的质量占比在20％以上，足球形状的粉体与其它粉体之间接触为面与面接触，球体形状与其它粉体之间的接触为点接触，足球形状的氧化铟粉有利于在保证粉体流动性的同时提高靶材的电子迁移率以及靶材的密度。通过直流磁控溅射镀膜机溅射镀膜得到氧化物薄膜，将得到的氧化物薄膜置于大气环境中并在不同温度下退火30±5min，得到高迁移率透明导电氧化物薄膜，提高ITO薄膜的电导率以及透过率，满足透明导电氧化物薄膜对于高迁移率的超高要求。

本发明授权一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤， 制备靶材步骤， 将形状分别为球体形状、棱锥体形状和足球形状的氧化铟粉混合得到氧化铟粉末，其中，形状为棱锥体形状和足球形状的氧化铟粉在全部氧化铟粉中的质量占比大于20％，足球形状的氧化铟粉与其它粉体之间接触为面与面接触，球体形状的氧化铟粉与其它粉体之间接触为点接触； 采用化学沉淀法制备得到形状为足球形状的所述氧化铟粉，形状为足球形状的氧化铟粉是表面由多个多边形台体相邻拼接而成的多面体结构； 根据质量百分比，先将95-99.4wt％的氧化铟粉末和0.1-4.8wt％的氧化锡粉搅拌均匀，再依次加入0.1-0.3wt％的氧化钇粉和0.1-0.4wt％的氧化锑粉以及余量的氧化碲粉，搅拌混合均匀，得到第一粉体， 然后将第一粉体倒入砂磨机中，加入分散剂去离子水以及10±5％的乙醇，固含量控制在55±5％，进行进一步砂磨1h±0.5，得到第一浆料， 往第一浆料中加入粘结剂聚乙烯醇，含量0.5±0.2wt.％，研磨1±0.5h，得到第二浆料， 使用第二浆料进行喷雾造粒，进风口温度为200±50℃，排风温度为90±10℃，得到第一干粉， 将第一干粉进行旋风分离，得到粒径D90＝300±50nm的第二干粉， 将第二干粉装入橡胶模具中，进行装填，采用超声波辅助，提高第二干粉在模具中的振实密度，放入冷等静压中进行压制成型，压力设置为30±5MPa并保压30±5min，然后再调整为280±20MPa并保压2±0.5h，然后再以10±2MPa的梯度逐渐降低压力，以释放内部应力，得到生坯， 将生坯放入烧结炉中进行高温烧结，通入900-1000sccm的空气和20-35sccm的氧气，控制烧结炉以0.5±0.1℃min的梯度升温至650±10℃，保温3±1h；然后以1±0.2℃min的梯度将温度升温至1500-1600℃，保温250±20h，然后以相应的速率将温度降低至室温， 然后将靶材按照相应的图纸进行机加工以及绑定加工得到高迁移率溅射靶材； 镀膜步骤，将高迁移率溅射靶材安装到直流磁控溅射镀膜机上，通过直流磁控溅射镀膜机溅射镀膜得到氧化物薄膜，并将氧化物薄膜的薄膜厚度控制在100±10nm，将得到的氧化物薄膜置于大气环境中不同温度下退火30±5min，得到高迁移率透明导电氧化物薄膜。

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