上海近硕半导体技术有限公司张德义获国家专利权
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龙图腾网获悉上海近硕半导体技术有限公司申请的专利单轴驱动的垂直运动压力控制阀获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223318481U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422734036.4，技术领域涉及：F16K3/18；该实用新型单轴驱动的垂直运动压力控制阀是由张德义;和浩楠设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本单轴驱动的垂直运动压力控制阀在说明书摘要公布了：本实用新型公开了带加热功能单轴驱动的垂直运动压力控制阀，所述压力控制阀集成于半导体工艺腔的底部安装板上，压力控制阀具有驱动机构、垂直升降的真空馈通连接轴、连接杆以及带自调解连接头的阀芯板，其中驱动机构包括步进电机、导轨、丝杠柱与机壳，导轨沿机壳高度方向布设，导轨上设有滑台；所述丝杠柱转动安装于机壳内侧且其与导轨平行，丝杠柱下侧轴端通过皮带、带轮与步进电机轴端联动。本实用新型通过在阀芯板上设置加热装置，减少气体反应物coating在阀板上，延长阀门使用寿命；同时垂直运动的阀芯板设置有自调解连接头，使得阀芯板和腔体底板接触时能够自动调节水平，能避免阀门无法与工艺腔体闭合引起的工艺问题及设备性能问题。
本实用新型单轴驱动的垂直运动压力控制阀在权利要求书中公布了：1.单轴驱动的垂直运动压力控制阀，其特征在于，所述压力控制阀集成于半导体工艺腔的底部安装板1上，压力控制阀具有机壳2、驱动机构、真空馈通连接轴8、连接杆9、阀芯板10与自调解连接头11，其中驱动机构装于机壳2内，驱动机构包括步进电机3、导轨4、滑台5、丝杠套6与丝杠柱7，导轨4沿机壳2高度方向布设，导轨4上设有滑台5；所述丝杠柱7转动安装于机壳2内侧且其与导轨4平行，丝杠柱7下侧轴端通过皮带、带轮与步进电机3轴端联动，丝杠柱7上套装有丝杠套6，该丝杠套6侧端与滑台5连接，丝杠套6上设置真空馈通连接轴8。
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