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龙图腾网获悉润芯感知科技(南昌)有限公司申请的专利电容式压力传感器及其制造方法、电子装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119191222B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411578185.4，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权电容式压力传感器及其制造方法、电子装置是由杨涛;郭佳惠;高晋文;王晋;万星星;郝玮倩;庄玉召设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本电容式压力传感器及其制造方法、电子装置在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种电容式压力传感器及其制造方法、电子装置，所述制造方法包括：在衬底的第一侧上形成第一介质层、第一电极层、第二介质层和第二电极层；在第二电极层中形成第一电极过孔和第二电极过孔；移除第二介质层的被第二电极过孔暴露出的部分，以形成介质凹槽；在第二电极层的远离衬底的一侧形成钝化层，钝化层具有填入介质凹槽的钝化凸出部，且具有第一钝化开口，第一钝化开口与第一电极过孔空间连通，并构成释放孔；从衬底的第二侧进行刻蚀工艺，以在衬底中形成第一空腔；以及进行介质刻蚀工艺，以形成第二空腔，第二空腔和释放孔空间连通，第一电极层的部分位于第一空腔和第二空腔之间，并用作振膜，且钝化凸出部位于第二空腔中。

本发明授权电容式压力传感器及其制造方法、电子装置在权利要求书中公布了：1.一种电容式压力传感器的制造方法，其特征在于，包括： 提供衬底，所述衬底具有在第一方向上相对的第一侧和第二侧； 在所述衬底的所述第一侧上依次形成第一介质层、第一电极层、第二介质层和第二电极层； 对所述第二电极层进行电极图案化工艺，以在所述第二电极层中形成暴露出所述第二介质层的第一电极过孔和第二电极过孔； 移除所述第二介质层的被所述第二电极过孔暴露出的部分，以在所述第二介质层中形成介质凹槽，且所述介质凹槽的深度小于所述第二介质层的厚度； 在所述第二电极层的远离所述衬底的一侧形成钝化层，所述钝化层覆盖所述第二电极层，且从所述第二电极层的远离所述衬底的一侧连续延伸至所述介质凹槽中，并具有填入所述介质凹槽的钝化凸出部，且具有第一钝化开口，所述第一钝化开口与所述第一电极过孔空间连通，并共同构成释放孔； 从所述第二侧对所述衬底进行刻蚀工艺，以在所述衬底中形成第一空腔，并暴露出所述第一介质层的第一介质部分；以及 进行介质刻蚀工艺，以移除所述第一介质部分，并使所述第一空腔延伸至暴露出所述第一电极层的部分表面，以及移除所述第二介质层的第二介质部分并形成第二空腔，所述第二空腔和所述释放孔空间连通，且与所述第一空腔在所述第一方向上交叠， 其中在形成所述第一空腔和所述第二空腔之后，所述第一电极层的部分位于所述第一空腔和所述第二空腔之间，并用作振膜，所述第二电极层的部分悬于所述第二空腔上，且所述第二电极层的所述部分的靠近所述第一电极层一侧的表面暴露在所述第二空腔中，所述第二电极层的所述部分的远离所述第一电极层一侧的表面被所述钝化层覆盖，且所述钝化层的所述钝化凸出部位于所述第二空腔中， 其中所述钝化层的厚度范围为4000埃至12000埃。

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