江苏微导纳米科技股份有限公司李荣生获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种喷淋组件及半导体镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223316780U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422707232.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种喷淋组件及半导体镀膜设备是由李荣生设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋组件及半导体镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体薄膜气相沉积技术领域，公开一种喷淋组件及半导体镀膜设备，其中，所述喷淋组件包括：喷淋板、喷淋区和RPS导入区，喷淋区设置于所述喷淋板，RPS导入区设置于所述喷淋板并与所述喷淋区相互独立，用于将来自于所述反应腔顶部的清洁气体导入至所述反应腔的其他区域以及所述加热盘。这样，能够提高反应腔的清洗效果和清洗效率，并能够有效提升半导体薄膜制程的稳定性和设备的使用周期。
本实用新型一种喷淋组件及半导体镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋组件，设置于半导体镀膜设备的反应腔内并位于加热盘的上方，其特征在于，包括： 喷淋板； 喷淋区，设置于所述喷淋板； RPS导入区，设置于所述喷淋板并与所述喷淋区相互独立，用于将来自于所述反应腔顶部的清洁气体导入至所述反应腔的其他区域以及所述加热盘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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