江苏天芯微半导体设备有限公司翟硕彦获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种半导体设备用进气装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223318181U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422661277.0，技术领域涉及：F15D1/00；该实用新型一种半导体设备用进气装置及半导体设备是由翟硕彦设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备用进气装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体设备用进气装置及半导体设备，包括：下匀流板，所述下匀流板的四周设置凸缘；上匀流板，所述上匀流板设置于下匀流板上方，所述上匀流板的四周与所述下匀流板的凸缘连接；其中，所述上匀流板的四周的下表面设置至少两个楔形槽，不同所述楔形槽之间在所述上匀流板的四周均匀分布；操作部，所述操作部包括主体、握持部和铲部，所述铲部设置于所述主体的一端，所述握持部设置于所述主体的另一端，所述铲部具有与所述楔形槽匹配的形状。本实用新型的进气装置，方便在长时间工艺后，拆卸所述进气装置。
本实用新型一种半导体设备用进气装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备用进气装置，其特征在于，包括： 下匀流板，所述下匀流板的四周设置凸缘； 上匀流板，所述上匀流板设置于下匀流板上方，所述上匀流板的四周与所述下匀流板的凸缘连接；其中，所述上匀流板的四周的下表面设置至少两个楔形槽，不同所述楔形槽之间在所述上匀流板的四周均匀分布； 操作部，所述操作部包括主体、握持部和铲部，所述铲部设置于所述主体的一端，所述握持部设置于所述主体的另一端，所述铲部具有与所述楔形槽匹配的形状。
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