长电集成电路(绍兴)有限公司冯彬获国家专利权
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龙图腾网获悉长电集成电路(绍兴)有限公司申请的专利翘曲测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321235U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422647552.3，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型翘曲测量装置是由冯彬;张诺琦;李慧;谢程阳设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本翘曲测量装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种翘曲测量装置，包括测量台；卡盘，位于测量台的上侧，用于固定晶圆，且与晶圆的边缘区域不接触；传感器，位于卡盘的靠近测量台的一侧或远离测量台的一侧，用于测量晶圆的翘曲。由于卡盘与晶圆的边缘区域不接触，因此卡盘不会托起或支撑晶圆边缘区域，晶圆边缘区域不受卡盘的支撑力，故而传感器测量得到的翘曲数据更精确，更接近后续对晶圆处理时晶圆的翘曲数据，从而翘曲数据更真实。
本实用新型翘曲测量装置在权利要求书中公布了：1.一种翘曲测量装置，其特征在于，所述装置包括： 测量台； 卡盘，位于所述测量台的上侧，用于固定晶圆，且与所述晶圆的边缘区域不接触； 传感器，位于所述卡盘的靠近所述测量台的一侧或远离所述测量台的一侧，用于测量所述晶圆的翘曲。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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