惠然微电子技术(无锡)有限公司霍志军获国家专利权
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龙图腾网获悉惠然微电子技术(无锡)有限公司申请的专利一种真空腔室的开盖结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321243U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422638463.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种真空腔室的开盖结构是由霍志军;金建高;赫文楠;高文泉设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空腔室的开盖结构在说明书摘要公布了：本披露公开了一种真空腔室的开盖结构，包括用于开启或者关闭真空腔室的开合模块，所述开合模块包括：上安装件，其与真空腔室的盖体抵接；下安装件，其与真空腔室的腔体抵接；两组对称设置的铰链组件，两组铰链组件分别包括通过不同连接件转动连接的上铰链和下铰链；上铰链与上安装件转动连接，下铰链与下安装件转动连接；丝杠，包括依次连接的驱动段、光滑段和螺纹段，光滑段与第一连接件滑动连接，螺纹段与第二连接件螺纹连接；第一止推轴承，设置在驱动段与第一连接件之间的光滑段上。本披露通过丝杠转动，使两组铰链组件与丝杠连接端相对运动或者相向运动，使上安装件带动盖体上升或者下降，进而打开或者关闭腔体，该方案操作简单，且安全。
本实用新型一种真空腔室的开盖结构在权利要求书中公布了：1.一种真空腔室的开盖结构，其包括用于开启或者关闭真空腔室的开合模块，其特征在于，所述开合模块包括： 上安装件，其与真空腔室的盖体抵接； 下安装件，其与真空腔室的腔体抵接； 铰链组件，包括第一铰链组件和第二铰链组件；所述第一铰链组件包括通过第一连接件转动连接的上铰链和下铰链，所述第二铰链组件包括通过第二连接件转动连接的上铰链和下铰链；所述上铰链与所述上安装件转动连接，所述下铰链与所述下安装件转动连接； 丝杠，其包括依次连接的驱动段、光滑段和螺纹段，所述光滑段与第一连接件滑动连接，所述螺纹段与第二连接件螺纹连接；以及 第一止推轴承，其设置在所述驱动段与所述第一连接件之间的光滑段上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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