江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利清理装置和具有其的晶圆加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321242U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422631490.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型清理装置和具有其的晶圆加工装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本清理装置和具有其的晶圆加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种清理装置和具有其的晶圆加工装置，用于晶圆加工装置，清理装置包括：驱动机构，驱动机构设有驱动轴；连接座，连接座与驱动轴固定；清理件，清理件与连接座连接，驱动轴通过连接座带动清理件转动，清理件具有清理面，且清理件相对于驱动轴可活动，以调节清理面与驱动轴的轴线之间的夹角；限位件，限位件设于连接座与清理件之间，限位件用于限制清理面与驱动轴的轴线之间的转动角度。根据本实用新型的清理装置，清理件可相对驱动轴的轴线倾斜，使清理面贴合至承载台的台面上，从而可以保证清理件的清理整洁度，有效保证清理装置的清理效果。
本实用新型清理装置和具有其的晶圆加工装置在权利要求书中公布了：1.一种清理装置100，用于晶圆加工装置，其特征在于，包括： 驱动机构10，所述驱动机构10设有驱动轴11； 连接座20，所述连接座20与所述驱动轴11固定； 清理件30，所述清理件30与所述连接座20连接，所述驱动轴11通过所述连接座20带动所述清理件30转动，所述清理件30具有清理面31，且所述清理件30相对于所述驱动轴11可活动，以调节所述清理面31与所述驱动轴11的轴线之间的夹角； 限位件40，所述限位件40设于所述连接座20与所述清理件30之间，所述限位件40用于限制所述清理面31与所述驱动轴11的轴线之间的转动角度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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