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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种夹持组件及晶圆清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321257U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422628267.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种夹持组件及晶圆清洁装置是由卢琛设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种夹持组件及晶圆清洁装置在说明书摘要公布了：一种夹持组件及晶圆清洁装置，涉及半导体制造技术领域。该夹持组件包括气缸、至少两夹持部和压力调控器，气缸与压力调控器信号连接；至少两夹持部呈间隔设置并可转动地作用于晶圆的相对两侧；夹持部与气缸的丝杆端部固定连接；丝杆上设置有行程传感器，行程传感器用于检测丝杆的伸缩值，并将伸缩值信号传递至压力调控器，伸缩值大于预设伸缩范围时，压力调控器驱动气缸回缩丝杆，直至伸缩值处于预设伸缩范围内；伸缩值小于预设伸缩范围内时，压力调控器驱动气缸伸出丝杆，直至伸缩值处于预设伸缩范围内。该夹持组件能够对夹持晶圆的压力进行精确地自动调节，在保证晶圆稳定转动的同时避免晶圆破片，提高了晶圆清洁的可靠性。

本实用新型一种夹持组件及晶圆清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种夹持组件，其特征在于，包括气缸110、至少两夹持部120和压力调控器，所述气缸110与所述夹持部120一一对应且与所述压力调控器信号连接；至少两夹持部120呈间隔设置并可转动地作用于晶圆200的相对两侧以夹持所述晶圆200的外周壁；所述夹持部120与所述气缸110的丝杆111端部固定连接，所述丝杆111的延伸方向与所述夹持部120的夹持方向同向；所述丝杆111上设置有行程传感器113，所述行程传感器113用于检测所述丝杆111的伸缩值，并将伸缩值信号传递至所述压力调控器，所述伸缩值大于预设伸缩范围时，所述压力调控器驱动所述气缸110回缩所述丝杆111，使所述夹持部120沿背离所述晶圆200的方向移动，直至所述伸缩值处于预设伸缩范围内；所述伸缩值小于预设伸缩范围内时，所述压力调控器驱动所述气缸110伸出所述丝杆111，使所述夹持部120朝向所述晶圆200移动，直至所述伸缩值处于预设伸缩范围内。

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