上海积塔半导体有限公司刘顺昌获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利具有自动开关功能的晶圆吸笔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321254U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422544342.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型具有自动开关功能的晶圆吸笔是由刘顺昌;黄金成;梁梦诗设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有自动开关功能的晶圆吸笔在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有自动开关功能的晶圆吸笔，包括：笔体，笔体内沿轴向形成有一真空通道，笔体的一端至少具有一吸孔；手动控制阀，手动控制阀设置于笔体上，手动控制阀用于打开或关闭真空通道，手动控制阀具有一触发端；红外控制阀，红外控制阀设置于笔体上，红外控制阀用于打开或关闭真空通道，红外控制阀具有一感应端。通过对本实用新型的应用，提供了一种适用于晶圆转移的晶圆吸笔，可通过手动控制阀和红外控制阀的独立或同时使用，使得其能够实现自动开关功能，防止由于操作员的误操作而导致吸笔持续处于吸气的状态，避免了真空通道的堵塞，确保吸笔的吸力充足，有效降低了在晶圆转移过程中晶圆掉落的发生概率。
本实用新型具有自动开关功能的晶圆吸笔在权利要求书中公布了：1.一种具有自动开关功能的晶圆吸笔，其特征在于，包括： 笔体，所述笔体内沿轴向形成有一真空通道，所述笔体的一端至少具有一吸孔； 手动控制阀，所述手动控制阀设置于所述笔体上，所述手动控制阀用于打开或关闭所述真空通道，所述手动控制阀具有一触发端，所述触发端用于手动控制； 红外控制阀，所述红外控制阀设置于所述笔体上，所述红外控制阀用于打开或关闭所述真空通道，所述红外控制阀具有一感应端，所述感应端用于感应人体的热量。
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