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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种阻抗匹配器及等离子体产生设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223322057U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422545924.1，技术领域涉及：H03H7/38；该实用新型一种阻抗匹配器及等离子体产生设备是由乐卫平;林伟群;唐亚海;谢幸光设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种阻抗匹配器及等离子体产生设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种阻抗匹配器及等离子体产生设备，属于阻抗匹配领域，其中，阻抗匹配器包括：主控电路；电压检测电路，电压检测电路的检测端与射频电源的输出端电连接，电压检测电路的输出端与主控电路的信号接收端电连接；多个开关电路，多个开关电路的受控端均与主控电路的控制端电连接；多个阻抗匹配电路，射频电源的输出端与多个阻抗匹配电路的第一端电连接，多个阻抗匹配电路的第二端与多个开关电路的输入端一一对应电连接，多个开关电路的输出端均与等离子体腔室的电极电连接；本实用新型旨在解决现有阻抗匹配器的响应速度不足以迅速适应等离子体腔室大幅度的阻抗变化的问题。

本实用新型一种阻抗匹配器及等离子体产生设备在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配器，应用于等离子体产生装置，所述等离子体产生装置包括射频电源和等离子体腔室，所述射频电源经所述阻抗匹配器输出射频能量至所述等离子体腔室，其特征在于，所述阻抗匹配器包括： 主控电路； 电压检测电路，所述电压检测电路的检测端与所述射频电源的输出端电连接，所述电压检测电路用于检测所述射频电源的输出电压，所述电压检测电路的输出端与所述主控电路的信号接收端电连接； 多个开关电路，多个所述开关电路的受控端均与所述主控电路的控制端电连接； 多个阻抗匹配电路，所述射频电源的输出端与多个所述阻抗匹配电路的第一端电连接，多个所述阻抗匹配电路的第二端与多个所述开关电路的输入端一一对应电连接，多个所述开关电路的输出端均与所述等离子体腔室的电极电连接，多个所述阻抗匹配电路的受控端与所述主控电路的控制端电连接；其中，多个所述阻抗匹配电路的等效阻抗均不相同； 所述主控电路在所述射频电源的输出电压达到多个预设电压阈值中的其中一个时，控制对应的所述开关电路导通，并控制其他所述开关电路关断。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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