江苏欧展科技有限公司马尚忠获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏欧展科技有限公司申请的专利一种用于真空镀膜的加热设备及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119287335B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411415575.X,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权一种用于真空镀膜的加热设备及其使用方法是由马尚忠设计研发完成,并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空镀膜的加热设备及其使用方法在说明书摘要公布了:本发明涉及真空镀膜技术领域,且公开了一种用于真空镀膜的加热设备及其使用方法,包括镀膜箱,所述镀膜箱的顶部固定安装有真空泵,所述镀膜箱内开设有圆形腔,所述镀膜箱内开设有倒锥形弧槽,所述倒锥形弧槽与圆形腔相通,还包括:收集机构,所述收集机构包括滑动安装在镀膜箱内的收集屉,所述收集屉与倒锥形弧槽相通,所述圆形腔的底部内壁上固定安装有圆形筒,所述圆形筒的外壁上转动连接环形板,所述环形板的底部固定安装有若干个L型清理板。本发明离心力会将圆形腔底部内壁上的灰尘杂质扫落至倒锥形弧槽内,杂质会沿着倒锥形弧槽进入到收集屉内,起到对圆形腔内灰尘杂质清理的效果,避免圆形腔内的灰尘杂质导致膜的厚度不均匀存在缺陷问题。
本发明授权一种用于真空镀膜的加热设备及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种用于真空镀膜的加热设备,包括镀膜箱(1),所述镀膜箱(1)的顶部固定安装有真空泵(2),所述镀膜箱(1)内开设有圆形腔(3),所述镀膜箱(1)内开设有倒锥形弧槽(4),所述倒锥形弧槽(4)与圆形腔(3)相通,其特征在于,还包括: 收集机构(5),所述收集机构(5)包括滑动安装在镀膜箱(1)内的收集屉(501),所述收集屉(501)与倒锥形弧槽(4)相通,所述圆形腔(3)的底部内壁上固定安装有圆形筒(502),所述圆形筒(502)的外壁上转动连接环形板(504),所述环形板(504)的底部固定安装有若干个L型清理板(503),若干个所述L型清理板(503)的底端均与圆形腔(3)的底部内壁相接触,所述环形板(504)的顶部固定安装有若干个传动矩形板(505),所述圆形腔(3)内设置有条形箱(506),所述条形箱(506)的顶部内壁上固定安装有传动簧(507),所述传动簧(507)的底端固定安装有等腰梯形块(508),所述等腰梯形块(508)的底端延伸至条形箱(506)外; 所述圆形腔(3)内转动安装有圆形块(509),所述圆形块(509)的顶部设置有锥形面(510),所述圆形块(509)上开设有若干个漏槽(511),所述圆形块(509)的底部固定安装有环形固定块(513),所述环形固定块(513)的底部固定安装有L型弧板(514),所述L型弧板(514)的外壁上固定安装有清理板(515),所述清理板(515)与圆形腔(3)的内壁相接触,所述L型弧板(514)的底部与条形箱(506)固定连接; 在真空泵(2)运行的过程中会将圆形腔(3)内较小的灰尘吸出排出,较大的颗粒杂质会落到圆形块(509)上,由于条形螺板(807)重复往复升降运动,相应的圆形块(509)也会不断地逆时针顺时针重复转动,由于条形螺板(807)的运动靠往复螺杆(806)的转动,此时条形螺板(807)的运动速度小于往复螺杆(806)的转动速度,此时圆形块(509)的转速会小于往复螺杆(806)的转动速度,此时圆形块(509)上的杂质会在圆形块(509)不断地缓慢转动过程中抖动,抖动的杂质会从锥形面(510)的表面和沿着漏槽(511)落到圆形腔(3)的底部内壁上; 所述镀膜箱(1)上设置有密封机构(6),所述密封机构(6)包括滑动安装在镀膜箱(1)上的密封块(601),所述密封块(601)的内壁上开设有限位槽(602),所述圆形筒(502)内滑动安装有梯形条(603),所述梯形条(603)的前端延伸至限位槽(602)内,所述梯形条(603)上固定套设有矩形固定套(604),所述梯形条(603)上套设有密封簧(605),所述密封簧(605)的前端与矩形固定套(604)固定连接,所述密封簧(605)的末端与圆形筒(502)固定连接,所述梯形条(603)的末端铰接安装有传动杆(606); 所述传动杆(606)的末端铰接安装有连接板(607),所述连接板(607)的顶部固定安装有两个圆杆(608),两个所述圆杆(608)的顶端均延伸至圆形筒(502)外并均与圆形筒(502)滑动连接,两个所述圆杆(608)的顶端分别固定安装有匚型固定板(609); 所述圆形筒(502)的顶部设置有固定机构(7),所述固定机构(7)包括固定安装在圆形筒(502)顶部的放置台(701),所述放置台(701)内设置有基材(702),所述圆形筒(502)的外壁上固定安装有两个匚型固定杆(703),两个所述匚型固定杆(703)相互靠近的一端固定安装有空心放置台(704),所述空心放置台(704)内设置有靶材(705),两个所述匚型固定板(609)均贯穿空心放置台(704)并均与空心放置台(704)滑动连接。
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