新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种缺陷检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119086439B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411209252.5,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种缺陷检测装置是由张琪;符友银;徐静静设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种缺陷检测装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种缺陷检测装置,涉及光学检测技术领域。照明光学系统被配置为,发射P偏振光的照明光束;第一偏振棱镜被配置为,位于照明光学系统与第一四分之一波片之间的光路上,通过照明光束;第一四分之一波片被配置为,位于第一偏振棱镜与待测物体之间,被待测物体的上表面反射的反射光束,再次经过第一四分之一波片后,变为S偏振光,经第一偏振棱镜的反射,投射至成像系统;下光路反射组件被配置为,将透过待测物体的透射光束反射,投射至成像系统。本发明实施例实现同时检测待测物体上下表面及内部缺陷,使缺陷检测方案多样化,通过多种方式组合检测提高检测精度。
本发明授权一种缺陷检测装置在权利要求书中公布了:1.一种缺陷检测装置,其特征在于,包括照明光学系统、第一偏振棱镜、第一四分之一波片、成像系统和下光路反射组件; 所述照明光学系统被配置为,发射P偏振光的照明光束; 所述第一偏振棱镜被配置为,位于所述照明光学系统与所述第一四分之一波片之间的光路上,通过所述照明光束; 所述第一四分之一波片被配置为,位于所述第一偏振棱镜与待测物体之间,被所述待测物体的上表面反射的反射光束,再次经过所述第一四分之一波片后,变为S偏振光,经所述第一偏振棱镜的反射,投射至所述成像系统; 所述下光路反射组件被配置为,将透过所述待测物体的透射光束反射,投射至所述成像系统; 所述下光路反射组件包括第二四分之一波片和第二偏振棱镜,所述第二四分之一波片位于所述待测物体与所述第二偏振棱镜之间; 所述第二四分之一波片被配置为,将所述透射光束转变为S偏振光; 所述第二偏振棱镜被配置为,反射所述透射光束,投射至所述成像系统; 还包括第一反射镜、第二反射镜和成像反射组件; 所述第一反射镜位于所述第一偏振棱镜与所述成像反射组件之间的光路上,被配置为将所述反射光束,投射至所述成像反射组件,经所述成像反射组件投射至所述成像系统; 所述第二反射镜位于所述下光路反射组件与所述成像反射组件之间的光路上,被配置为将所述透射光束,投射至所述成像反射组件,经所述成像反射组件投射至所述成像系统; 所述成像反射组件包括选择性偏振棱镜,所述选择性偏振棱镜包括S偏振反射膜和P偏振反射膜; 所述下光路反射组件包括第二四分之一波片、第二偏振棱镜和第一二分之一波片,所述第二四分之一波片位于所述待测物体与所述第二偏振棱镜之间; 所述第二四分之一波片被配置为,将所述透射光束转变为S偏振光; 所述第二偏振棱镜被配置为,反射所述透射光束至所述第一二分之一波片;所述第一二分之一波片位于所述第二偏振棱镜与所述第二反射镜之间的光路上,被配置为将所述透射光束由S偏振光变为P偏振光。
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