苏州赛腾精密电子股份有限公司孙丰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赛腾精密电子股份有限公司申请的专利晶圆处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321239U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422079976.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆处理装置是由孙丰;曹镝设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工领域，涉及一种晶圆处理装置。本实用新型的加工治具对晶圆产品进行定位，驱动组件带动加工治具上的晶圆产品进行旋转或者升降调整，定位效果好，可以实现对晶圆产品的快速加工；在基板与机架之间设置有第一减震组件、底板与基板之间设置有第二减震组件，通过采用上述多重减震结构，能够在驱动组件上下以及旋转调整产品工作过程中有效减轻对机架和或外壳的震动，提高加工精度。
本实用新型晶圆处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理装置，其特征在于，包括： 机架，所述机架上设置有加工工位； 加工治具，设置于所述加工工位上，所述加工治具用于对晶圆产品进行定位； 驱动组件，设置于机架上，所述驱动组件与所述加工治具驱动连接，所述驱动组件用于带动加工治具上的晶圆产品进行旋转或者升降调整； 基板，设置于所述机架下方，所述基板与所述机架之间设置有第一减震组件； 底板，设置于所述基板下方，所述底板与所述基板之间设置有第二减震组件。
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