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龙图腾网获悉浙江晨华科技有限公司申请的专利一种产品附着均匀的化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117026210B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311052891.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种产品附着均匀的化学气相沉积设备是由孙矿;徐炜设计研发完成，并于2023-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种产品附着均匀的化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种产品附着均匀的化学气相沉积设备，包括设备本体，所述设备本体包括内腔，所述内腔中设有反应仓，所述反应仓包括依次连通的进气通道、沉积仓和排气通道；所述沉积仓的一侧与进气通道相连通，所述进气通道内水平设置有用于供给气体原料的进气管，所述进气管的外表面环绕设有加热管；所述沉积仓内设有加热台，基片放置在所述加热台上，所述加热台朝向进气通道呈倾斜设置；所述沉积仓远离进气通道的一侧与排气通道相连通，所述排气通道与沉积仓的交界处设有加热网；所述沉积仓的上方设有均流装置。本申请解决了现有技术中存在的现有的化学气相沉积设备内部气体密度很难保持均匀，导致基板上形成的膜厚不均匀的问题。

本发明授权一种产品附着均匀的化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种产品附着均匀的化学气相沉积设备，包括设备本体30，其特征在于：所述设备本体30包括内腔1，所述内腔1中设有反应仓2，所述反应仓2包括依次连通的进气通道3、沉积仓4和排气通道5； 所述沉积仓4的一侧与进气通道3相连通，所述进气通道3内水平设置有用于供给气体原料的进气管6，所述进气管6的外表面环绕设有加热管7； 所述沉积仓4内设有加热台11，基片15放置在所述加热台11上，所述加热台11朝向进气通道3呈倾斜设置；所述加热台11包括加热底板12和加热盖板13，所述加热底板12的表面开设有蛇形加热槽14，所述蛇形加热槽14内安装有蛇形加热列管16；所述加热盖板13设置于所述加热底板12上方，所述加热盖板13覆盖蛇形加热槽14，所述基片15放置在加热盖板13上； 所述沉积仓4内设有基础台9，所述基础台9的上表面通过转轴铰接设有支撑台10，所述加热台11设置在支撑台10的上端，所述基础台9上还设有用于调节加热台11倾斜角度的调节机构； 所述沉积仓4远离进气通道3的一侧与排气通道5相连通，所述排气通道5与沉积仓4的交界处设有加热网20； 所述沉积仓4的上方设有均流装置；所述均流装置包括均流盘21，所述均流盘21为螺旋形气管，所述螺旋形气管的下表面均匀开设有出气孔22，所述螺旋形气管用于供给同一种气体原料；所述螺旋形气管的上端设有金属波纹管23。

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