北京工业大学解意洋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京工业大学申请的专利一种片上生成矢量光束的垂直腔面发射激光器及制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116345306B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310198072.0,技术领域涉及:H01S5/183;该发明授权一种片上生成矢量光束的垂直腔面发射激光器及制作方法是由解意洋;傅攀;徐晨;常鹏鹰;包蕾;吴博;裴宪梓设计研发完成,并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种片上生成矢量光束的垂直腔面发射激光器及制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种片上生成矢量光束的垂直腔面发射激光器及制作方法,涉及微纳结构及半导体激光器技术领域,其结构主要包括欧姆接触保护电极、周期交替生长的上分布布拉格反射镜、电流限制氧化孔、氧化限制层;有源区、周期性交替生长的下分布布拉格反射镜、GaAs衬底层、P型金属电极层、钝化层、BCB固化绝缘层、N型金属电极层、出光孔和超构表面。本发明通过常规的半导体加工工艺,能够容易地在垂直腔面发射激光器出光端面集成双折射方形纳米柱结构,在芯片级上实现矢量光束的生成与操控;所开发的方法为VCSEL平台实现定制矢量光束铺平了道路,解决了传统的矢量光束生成装置结构复杂,体积大、效率低、不易操作等问题。
本发明授权一种片上生成矢量光束的垂直腔面发射激光器及制作方法在权利要求书中公布了:1.一种片上生成矢量光束的垂直腔面发射激光器,其特征在于:包括周期性交替生长的下分布布拉格反射镜(10)和上分布布拉格反射镜(4),所述上分布布拉格反射镜(4)与所述下分布布拉格反射镜(10)构成一个凸字形圆台结构; 所述下分布布拉格反射镜(10)的底面设置有衬底层(11),所述衬底层(11)底面设置有超构表面(13)和N型金属电极层(12),所述N型金属电极层(12)位于所述超构表面(13)的外周;所述下分布布拉格反射镜(10)的顶面覆盖有有源区(9),所述有源区(9)与所述上分布布拉格反射镜(4)之间设置有氧化限制层(6),所述氧化限制层(6)的中部设置有电流限制氧化孔(5); 所述上分布布拉格反射镜(4)的顶面从下到上依次设置有GaAs重掺杂层(3)和欧姆接触保护电极(2);所述欧姆接触保护电极(2)的顶面,所述上分布布拉格反射镜(4)的侧面,以及所述有源区(9)的顶面均覆盖有钝化层(7),所述钝化层(7)的外侧设置有固化绝缘层(8),所述钝化层(7)在所述欧姆接触保护电极(2)的上方设置有电极孔(701),所述电极孔(701)中设置有P型金属电极层(1),所述P型金属电极层(1)外边缘覆盖所述钝化层(7)的顶部; 所述P型金属电极层(1)的中心与所述超构表面(13)的中心对准。
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