安徽光智科技有限公司游曼辉获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利线阵CZT探测器的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115799378B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211613059.9,技术领域涉及:H10F30/29;该发明授权线阵CZT探测器的制备方法是由游曼辉;张伟;曹红设计研发完成,并于2022-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本线阵CZT探测器的制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供线阵CZT探测器的制备方法,包括:将晶体沿﹤111﹥晶向切割成矩形晶片,经表面处理去除表面损伤层,在晶片{111}Te面制备电极图案,并在电极图案之间设划片道区域,经光刻后镀金;剥离光刻胶上的金膜,在{111}Te面、{111}Cd面涂光刻胶,沿划片道区域将晶片切割成多个,并去除光刻胶;将多个晶片置于PVD托盘治具的凹槽中,对{111}Cd面镀金;将镀好金的晶片的{111}Te面及{111}Cd面涂正胶保护,对4个侧面抛光,后去除光刻胶即完成制备。该方法能解决崩边、以及涂胶不均导致的电极图形缺失问题,可以一次制备多个线阵探测器,生产效率高、加工成本低,操作简单,可控性强。
本发明授权线阵CZT探测器的制备方法在权利要求书中公布了:1.线阵CZT探测器的制备方法,其特征在于,包括: S1、将CZT晶体沿﹤111﹥晶向切割成矩形的晶片; S2、将晶片进行抛光,然后采用溴甲醇溶液进行处理; S3、在处理后的晶片的{111}Te面涂覆负胶,进行后续光刻工艺制备出多个电极图案,且光刻处理后相邻电极图案之间留有覆盖有负胶的划片道区域,然后在{111}Te面镀金; S4、采用去胶液处理镀金后的晶片,剥离掉光刻胶上的金膜; S5、在晶片的{111}Te面及{111}Cd面涂光刻胶做保护层,沿划片道区域将晶片切割成多个,然后去除{111}Te面及{111}Cd面的光刻胶; S6、将多个晶片放置于PVD托盘治具的凹槽中,对{111}Cd面镀金; S7、将完成镀金的晶片的{111}Te面及{111}Cd面涂正胶保护,然后抛光去除侧面少量因未保护到位所镀的金层,去除{111}Te面及{111}Cd面的光刻胶,即完成线阵CZT探测器的制备。
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