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浙江工业大学胡军获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江工业大学申请的专利一种光学式氢气传感材料及其制备方法和对氢气浓度进行光学响应检测的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115791658B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211488700.0,技术领域涉及:G01N21/31;该发明授权一种光学式氢气传感材料及其制备方法和对氢气浓度进行光学响应检测的方法是由胡军;郝胜杰;谢波;刘伊妮;钱浩宇;周兴泉;毛稀兵;孙健设计研发完成,并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光学式氢气传感材料及其制备方法和对氢气浓度进行光学响应检测的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光学式氢气传感材料及其制备方法和对氢气浓度进行光学响应检测的方法,该光学式氢气传感材料由Pd纳米粒子密集排列组成非连续薄膜结构,其制备方法基于团簇束流沉积技术,在高透光石英片表面以低沉积速率沉积Pd纳米粒子,构成无序纳米粒子薄膜,具备一定的可见光吸光度。由于Pd纳米粒子间相互作用能使粒子间通过激发的表面等离激元共振发生相互耦合,从而在光吸收谱上呈现显著的等离激元共振峰,当Pd纳米粒子可逆吸附氢气时,光吸收谱线将依赖外界氢气浓度而发生显著的定量变化,从而实现氢气传感功能。该氢气气敏膜制备的关键点在于以合适的沉积速率进行Pd纳米粒子沉积,形成特定的纳米粒子组装结构,获得更加稳定的传感器基线。

本发明授权一种光学式氢气传感材料及其制备方法和对氢气浓度进行光学响应检测的方法在权利要求书中公布了:1.一种利用光学式氢气传感材料对氢气浓度进行光学响应检测的方法,其特征在于所述光学式氢气传感材料,包括以高透光石英片为衬底以及附着于石英片表面的Pd纳米粒子组装薄膜,其制备方法是基于团簇束流沉积技术在高透光石英片表面以低沉积速率沉积Pd纳米粒子,具体包括以下步骤: 1)将高纯度Pd靶材放置在团簇束流沉积设备的溅射枪上,将高透光石英片衬底放置在团簇束流沉积系统的沉积室内,对整个装置采取抽真空; 2)溅射枪上通入溅射气,并向团簇束流沉积系统的溅射腔中通入缓冲气; 3)对溅射枪通入3~12W的功率,控制Pd纳米粒子的沉积速率在0.05~0.2Ås,向石英衬底上沉积Pd纳米粒子的时间为2500~3500s,使高透光石英片表面构成具有一定可见光吸光度的由无序Pd纳米粒子密集排列组成的非连续薄膜结构,即得到氢气气敏膜; 所述Pd纳米粒子组装薄膜中,Pd纳米粒子覆盖率控制在30~60%; 所述检测方法包括以下步骤: S1:将所述的光学式氢气传感材料置于气敏测试腔内,打开光源和光谱仪,使光谱仪的可见光透过石英片,测量Pd纳米粒子组装薄膜的消光谱,在200~800nm范围内测量光吸收谱,确定Pd纳米粒子等离激元共振峰,继而确定等离激元共振峰的波长位置; S2:对气敏测试腔抽取真空,光学式氢气传感材料的Pd纳米粒子组装薄膜正对光源发射的可见入射光束,透射光则通过气敏测试腔的窗口后进入光谱仪;然后向气敏测试腔内充入特定气压的氢气,此过程中,将光谱仪的测量波长设定于步骤S1得到的共振峰位置,按此方法测量透射光强度随氢气气压的变化,得到光学式氢气传感材料的透射光强随氢气气压的实时变化曲线,通过此曲线得到样品在透光率与氢气气压的关系; S3:在对实际气体测定氢气浓度时,按照步骤S2的方法测试实际气体气氛下的光学式氢气传感材料的透射光强,然后代入至步骤S2所得实时变化曲线中,推断出实际气体中的氢气浓度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江工业大学,其通讯地址为:310014 浙江省杭州市拱墅区潮王路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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