北京工业大学宋辉旭获国家专利权
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龙图腾网获悉北京工业大学申请的专利基于点自聚焦原理的光探针测头获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115790438B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211364909.6,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于点自聚焦原理的光探针测头是由宋辉旭;李庆伟;石照耀;兰瑞利设计研发完成,并于2022-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于点自聚焦原理的光探针测头在说明书摘要公布了:本发明公开了基于点自聚焦原理的光探针测头,基于点自聚焦原理,利用自聚焦传感器实时跟踪被测齿面上物镜焦点的位置,并通过高精度直线光栅记录物镜位移量,进而实现微小齿轮全齿面数据的获取。包括照明光源、激光光源、透镜、自聚焦传感器、CCD相机、分光镜、z轴控制器、z轴移动平台、物镜、z轴光栅、差动共焦模块、反射镜;当被测物靠近或远离测头移动时,经过被测物表面反射的激光束在自聚焦传感器上的位置移动。自聚焦传感器将产生的偏差信号发送至z轴控制器,进而控制z轴移动平台移动,使物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置再次达到平衡。z轴光栅记录测头移动的位移量,并将该位移量作为被测物表面位置数据的变化量。
本发明授权基于点自聚焦原理的光探针测头在权利要求书中公布了:1.基于点自聚焦原理的光探针测头,其特征在于:包括照明光源、激光光源、第一透镜、第二透镜、自聚焦传感器、CCD相机、第一分光镜、第二分光镜、z轴控制器、z轴移动平台、物镜、z轴光栅、差动共焦模块、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和第四反射镜;激光光源发出的激光束经过第二反射镜反射后,透射过第一分光镜,再被第二分光镜反射,经过物镜的聚焦后,照射到被测物的表面;反射回物镜的光被准直,一部分光在经过第二分光镜和第一分光镜的反射后,被第一透镜聚焦到自聚焦传感器上;另一部分光被第二分光镜反射,并透射过第一分光镜,再经过第四反射镜和第三反射镜的反射,照射到差动共焦模块内部;物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置相对应,即当激光束被聚焦到被测物的表面时,反射回的激光束也能够被第一透镜聚焦到自聚焦传感器的中心;差动共焦模块用于校准物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置的对应关系;照明光源发出的白光光束经过第一反射镜的反射,并透射过第一分光镜,再被第二分光镜反射,经过物镜的聚焦后,照射到被测物的表面;反射回物镜的光被准直后再透射过第二分光镜,被第二透镜聚焦到CCD相机上;CCD相机用于监测被测物表面的实时信息;当物镜没有将激光束聚焦到被测物表面时,第一透镜也不会将激光束聚焦到自聚焦传感器的中心,自聚焦传感器将产生的偏差信号发送至z轴控制器,进而控制z轴移动平台沿测头移动方向移动,使物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置再次达到平衡;z轴光栅用于记录测头移动的位移量。
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