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龙图腾网获悉松山湖材料实验室;东莞市卓聚科技有限公司申请的专利膜厚测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116026271B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210247607.4，技术领域涉及：G01B21/08；该发明授权膜厚测量装置是由陈瑶;徐金林;程元元;李智斌;周泳设计研发完成，并于2022-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本膜厚测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种膜厚测量装置，包括：减震台、测量装置本体；测量装置本体设于减震台上，测量装置本体包括基座、垂直显微镜、纳米微动力台、电动旋转样品台、移动扫描台、XY电动台；垂直显微镜、纳米微动力台、XY电动台均安装在基座上，移动扫描台设于XY电动台上，电动旋转样品台设于移动扫描台上，纳米微动力台与电动旋转样品台相对设置；纳米微动力台与探针相连，纳米微动力台用于控制探针的下压距离和力度；移动扫描台用于在确定好样品测试的位置且规划好扫描路径后，在扫描过程中带动电动旋转样品台移动。本发明能够保证检测过程中对探针位移控制与力控制的稳定性、以及样品台的平稳性。

本发明授权膜厚测量装置在权利要求书中公布了：1.一种膜厚测量装置，其特征在于，包括：减震台、测量装置本体； 所述测量装置本体设于所述减震台上，所述测量装置本体包括基座、垂直显微镜、纳米微动力台、电动旋转样品台、移动扫描台、XY电动台； 所述垂直显微镜、所述纳米微动力台、所述XY电动台均安装在所述基座上，所述移动扫描台设于所述XY电动台上，所述电动旋转样品台设于所述移动扫描台上，所述纳米微动力台与所述电动旋转样品台相对设置； 所述纳米微动力台与探针相连，所述垂直显微镜用于观察所述电动旋转样品台上的样品，所述纳米微动力台用于控制所述探针的下压距离和力度； 所述XY电动台用于在测试初始阶段带动所述电动旋转样品台移动到放样位置，所述电动旋转样品台用于放置以及旋转样品，所述移动扫描台用于在确定好样品测试的位置且规划好扫描路径后，配合所述纳米微动力台，在扫描过程中带动所述电动旋转样品台移动； 所述移动扫描台包括传动机构、导向机构、台面、调平机构，所述传动机构设于所述导向机构上，所述台面设于所述传动机构上，所述电动旋转样品台设于所述台面上，所述调平机构设于所述台面的底部； 所述传动机构包括主动轮、从动轮、压板、同步带、滑动板，所述同步带设于所述主动轮和所述从动轮之间，所述压板用于将所述滑动板固定在所述同步带上； 所述导向机构包括超精密平板、摩擦片、侧板、基板，所述超精密平板设于所述基板上，所述侧板设于所述基板的两侧，所述摩擦片设于所述超精密平板上，所述滑动板能够在所述超精密平板上滑动； 所述超精密平板为滑动表面达到纳米级精度的平板。

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