无锡邑文电子科技有限公司阮正华获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡邑文电子科技有限公司申请的专利设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114549514B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210199089.3,技术领域涉及:G06F18/20;该发明授权设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质是由阮正华;彭成华设计研发完成,并于2022-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请提供一种设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质,涉及半导体技术领域。该方法包括:获取生产设备的第一组运行参数、第一组运行参数在预设历史时间段内对应的多个第一生产结果参数以及针对多个第一生产结果参数的评价分值后,根据第一组运行参数、多个第一生产结果参数以及评价分值,采用预设的监督学习数据模型,得到生产设备的第二组运行参数,用以使得生产设备以第二组运行参数进行运行。相较于人工的设备参数调试确定方法而言,在参数确定中通过引入监督学习模型,减少了人工参与,使得设备的参数确定不依赖于操作人员的知识水平和行业经验通过根据获取的数据信息,能够快速有效得到可观提高设备生产效率的第二组运行参数。
本发明授权设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种设备运行参数确定方法,其特征在于,所述方法包括: 获取生产设备的第一组运行参数,以及所述第一组运行参数在预设历史时间段内对应的多个第一生产结果参数;其中,所述第一生产结果参数是所述生产设备根据所述第一组运行参数运行后具体生产结果的数字化描述;其中,所述生产设备为晶片生产设备;同一生产设备用于生产多种产品,所述第一组运行参数包括:每种产品对应的第一组运行参数,所述第一生产结果参数包括:所述每种产品对应的第一生产结果参数; 获取针对所述多个第一生产结果参数的评价分值; 采用所述生产设备的参数规则,构建监督学习数据模型,所述参数规则包括:所述生产设备的多类运行参数对应的参数范围; 根据所述第一组运行参数、所述多个第一生产结果参数以及所述第一组运行参数对应的设备运行时间生成三维图形;所述第一组运行参数包括:多个类型的运行参数,所述三维图形包括:针对所述多个类型的运行参数的三维图形; 对所述三维图形进行去噪处理; 根据所述第一组运行参数、去噪处理后的三维图形中生产结果维度的生产结果参数,以及所述评价分值,采用预设的所述监督学习数据模型,得到所述生产设备的第二组运行参数,用以使得所述生产设备以所述第二组运行参数进行运行。
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