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龙图腾网获悉青岛惠科微电子有限公司;青岛惠芯微电子有限公司;北海惠科半导体科技有限公司申请的专利定位装置及扩散炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114520177B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210098808.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权定位装置及扩散炉是由宋修扬;孙军旗;赵利;孙玉群设计研发完成，并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本定位装置及扩散炉在说明书摘要公布了：本申请公开了一种定位装置及扩散炉，调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；固定支架通过角度调节装置与底座可转动连接，碳硅桨的一端与固定支架水平连接，控制装置设置在底座上，且与角度调节装置连接；角度传感器、计算模块均设置在固定支架上，角度传感器与计算模块连接，计算模块与控制装置连接；角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和石英舟装载硅片后碳硅桨的角度；计算模块用于计算石英舟空载时和装载硅片后碳硅桨的角度差值，并将信号传输给控制装置；控制装置控制角度调节装置，将固定支架抬升一预设角度，且预设角度等于角度差值。本申请能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。

本发明授权定位装置及扩散炉在权利要求书中公布了：1.一种定位装置，用于运送石英舟，所述定位装置包括碳硅桨、调节机构和底座，所述调节机构安装在所述底座上；所述碳硅桨的一端与所述调节机构连接，所述石英舟安装在所述碳硅桨上； 其特征在于，所述调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；所述固定支架通过所述角度调节装置与所述底座可转动连接，所述碳硅桨的一端与所述固定支架水平连接，所述控制装置设置在所述底座上，且与所述角度调节装置连接； 所述角度传感器、所述计算模块均设置在所述固定支架上，所述角度传感器与所述计算模块连接，所述计算模块与所述控制装置连接； 其中，所述角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和所述石英舟装载硅片后所述碳硅桨的角度；所述计算模块用于计算所述石英舟空载时和装载硅片后所述碳硅桨的角度差值，并将信号传输给所述控制装置；所述控制装置控制所述角度调节装置，将所述固定支架抬升一预设角度，且所述预设角度等于所述角度差值； 所述角度调节装置包括调节板，所述控制装置包括伺服电机，所述调节板设置在所述固定支架与所述底座之间，且与所述固定支架固定连接，所述调节板的一端与所述底座通过转轴连接；所述伺服电机与所述转轴连接，所述伺服电机带动所述转轴，将所述调节板抬升至所述预设角度； 或者，所述控制装置包括气缸，所述角度调节装置包括气压伸缩柱，所述气压伸缩柱的一端与所述气缸连接，另一端与所述固定支架连接，所述气缸带动所述气压伸缩柱运动，将所述固定支架抬升至所述预设角度。

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